[实用新型]栅栏式扫描电镜样品台有效

专利信息
申请号: 201120221459.6 申请日: 2011-06-28
公开(公告)号: CN202167451U 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 沈杰;顾进 申请(专利权)人: 上海宝钢工业检测公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;G01N23/22
代理公司: 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 代理人: 张恒康
地址: 201900 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 栅栏 扫描电镜 样品
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜,尤其涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜广泛应用于国民经济的各大行业,是各领域从事检验和研究人员的必备仪器之一。正因为此,扫描电镜需要分析的样品也是各式各样,形状不一,且工作量巨大。其中金属材料行业普遍需要观察薄板样品的截面,如组织、涂层等等。由于薄板样品不能自行竖立,需要装置辅助,目前主要是通过一般夹片装置来实现。但是有如下几个问题:

1. 有时样品夹得不牢,在分析过程中有出现移动甚至掉落样品台的现象,这会危及仪器安全;

2. 薄板样品由于无法直立,一般会有一定角度的倾斜,所以在分析时需要调整样品台的角度来修正截面的水平度,若有多个样品同时观察时,每个样品的倾斜角度不同,所以观察每个样品都需要修正一次,需要耗费大量的时间,降低分析效率;

3. 扫描电镜的样品仓空间有限,不能同时放入多个金属夹或大的装置,需要频繁的换样。由于换样时,需要先放空气进入样品仓,打开仓门换样,再抽空气至真空状态,有时换样时间大大超过样品观察时间,工作效率极低,且在有大量样品等待分析时,把大量的时间耗费在换样上,非常可惜。

发明内容

本实用新型旨在解决上述缺陷,提供一种胶栅栏式扫描电镜样品台。本实用新型能保证样品安全垂直竖立,且可以同时观察多个薄板样品截面的样品台,可以大大节约时间,提高分析人员的工作效率。

为解决上述问题,一种栅栏式扫描电镜样品台,它包括:

水平设置的盒状的外框,外框两端设有竖直的垂直板;

二个滑动平台,它们分别固定在外框两侧的侧边上;

至少二个隔条,它们的两端可滑动地连接滑动平台;

一个螺栓,它从一个外框垂直板外向内拧入,端部设有橡胶推子。

所述的栅栏式扫面电镜样品台,所述外框底面设有和扫面电镜样品底座连接的接口。

本实用新型通过旋动螺栓带动推子将隔条、样品推到外框的垂直板上并保持一定的压力使其贴紧固定。垂直板与底板90°垂直,从而保证与之靠齐的样品的垂直度。样品、隔条、样品的交替排列大大提高空间利用率;螺丝比较短粗以及硬橡皮材质的推子垂直均匀施的压;隔条具有的最小厚度是在保证观察时相邻样品不互相影响;隔条架在外框的滑动平台上,避免金属样品变形的边部导致隔条不垂直,从而影响后面的样品。本实用新型能保证样品安全垂直竖立,且可以同时观察多个薄板样品截面的样品台,可以大大节约时间,提高分析人员的工作效率。

附图说明

下面,结合附图对本实用新型作进一步的说明:

图1为本实用新型俯视图;

图2为本实用新型的侧视图。

具体实施方式

如图1所示:一种栅栏式扫描电镜样品台,它包括:

水平设置的盒状的外框6,外框6两端设有竖直的垂直板,外框底面设有和扫面电镜样品底座连接的接口5;

二个滑动平台2,它们分别固定在外框6两侧的侧边上;

至少二个隔条7,它们的两端可滑动地连接滑动平台2;

一个螺栓1,它从一个外框垂直板外向内拧入,端部设有橡胶推子3。

使用时:将螺栓1往外旋到最底。

将一片样品4垂直放入样品台内,并向外框6另一端的垂直板靠齐,再将一片架在滑动平台2的隔条7推向样品4靠紧;再垂直放入一片样品4,以此类推,直至排满。

向里旋动螺栓1,利用橡胶推子3向隔条7施压直至样品4和隔条7都紧靠外框6的垂直板。

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