[实用新型]一种太阳能电池片等离子刻蚀用夹具有效
申请号: | 201120198322.3 | 申请日: | 2011-06-14 |
公开(公告)号: | CN202189773U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 朱滨;韩凌 | 申请(专利权)人: | 浙江龙柏光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 应圣义 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 等离子 刻蚀 夹具 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能电池片制作装备,具体的说是涉及一种太阳能电池制作过程中电池片进行刻蚀前进行装夹的夹具。
背景技术
晶体硅太阳能电池片制作工艺通常包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤,刻蚀步骤通常采用等离子刻蚀的方法,去除在扩散过程中硅片边缘形成的扩散磷。在目前的等离子刻蚀操作时,通常是将数百片电池片叠放在一起组成电池片组后再进行刻蚀操作,这需要专用的夹具来把数百片电池片夹紧。现有的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具通常包括二块垫板和数根连杆构成,其中一块垫板与连杆垂直固定,另一块垫板可滑动连接在连杆上,二块垫板相互平行,操作人员把数百片电池片放入二块垫板之间,然后通过调节滑动连接在连杆上的一块垫板,把置于二块垫板之间的数百片电池片夹紧,即可放入等离子刻蚀机对电池片的边缘进行等离子刻蚀。由于电池片的表面比较光滑,当数百片电池片叠放在一起时,电池片之间会相互滑动,现有的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具无法对数百片电池片进行定位,操作人员需通过手工把数百片电池片叠放整齐,劳动强度较大,同时,采用手工把数百片电池片叠放无法做到完全整齐。
实用新型内容
为克服上述缺陷,本实用新型旨在提供一种既省力,同时又能保证数百片电池片完全叠放整齐的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:一种太阳能电池片等离子刻蚀用夹具,包括一块底垫板和一块项垫板,所述底垫板和顶垫板之间垂直固定有若干根连杆,所述顶垫板上通过螺杆滑动连接有一块活动垫板,所述底垫板、顶垫板和活动垫板相互平行,本实用新型的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具还包括一个定位架,所述定位架具有一块底板和二根垂直固定在底板上的定位条,所述二根定位条上的定位面呈90度夹角。
所述定位架的一端可转动连接在一个底座上,所述定位架的另一端与可调支撑板固定,所述定位架的长度方向与底座呈角度α,α=150-600。
所述可调支撑板设有若干个定位孔,所述定位架上设有与定位孔相对应的定位销。
采用了本实用新型的太阳能电池片等离子刻蚀用夹具,先把数百片电池片放在定位架上,由于电池片为方形,其二个相邻的边分别贴紧在二根定位条的的定位面上,一方面可以避免电池片之间的相互滑动,另一方面可以确定数百片电池片的叠放整齐,然后通过调节活动垫板,把数百片电池片夹紧后即可进行离子刻蚀。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的A-A向剖面结构示意图。
图中:1-底垫板,2-顶垫板,3-连杆,4-螺杆,5-活动垫板,6-定位架,7-底板,8-定位条,9-定位面,10-底座,11-可调支撑板,12-定位孔,13-定位销,14-电池片。
具体实施方式
如图1和图2所示,本实用新型公开了一种太阳能电池片等离子刻蚀用夹具,包括一块底垫板1和一块项垫板2,所述底垫板1和顶垫板2之间垂直固定有若干根连杆3,所述顶垫板2上通过螺杆4滑动连接有一块活动垫板5,所述底垫板1、顶垫板2和活动垫板5相互平行,在进行太阳能电池片等离子刻蚀前,首先需把数百片电池片14夹紧在底垫板1和活动垫板5之间,具体的做法是把数百片电池片置于底垫板1和活动垫板5之间通过螺杆4把活动垫板5向底垫板1方向调节,使电池片14被夹持在底垫板1和活动垫板5之间,综上所述,与现有的阳能电池片等离子刻蚀用夹具的结构形式基本一致。
本实用新型的创新点主要在于它还包括一个定位架6,所述定位架6具有一块底板7和二根垂直固定在底板6上的定位条8,所述二根定位条8上的定位面9呈90度夹角。具体操作时,先把夹具放置在定位架6上,把数百片电池片14依次放在底垫板1和活动垫板5之间,现有的太阳能电池片14通常为方形结构,电池片14的二个边分别贴在二根定位条8的定位面9上,由于有二根定位条8的定位面9作为定位支撑,可以确保数百片电池片14之间不会相互之间发生滑动,同时也确保数百片电池片14的叠放整齐。这样,在数百片电池片14叠放整齐后通过调节活动垫板5把数百片电池片14夹紧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江龙柏光伏科技有限公司,未经浙江龙柏光伏科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120198322.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:普通卷门机变速箱
- 下一篇:往复运动与旋转运动相互转换装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造