[实用新型]用于涡轮分子泵的固定叶片

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种非变容式泵，尤其是涉及一种用于涡轮分子泵的固定叶片。

背景技术：

现有技术中，在太阳能、半导体等生产设备中常使用涡轮分子泵排气获得真空，例如，在所给的设备腔体中加工处理半导体基板工序时，大多数工序中产生的是腐蚀性气体，就需要能连续排气的涡轮分子泵。涡轮分子泵的旋转速度非常高，通常达数万转，旋转的涡轮叶片与固定叶片之间，将气体分子撞击进行排气。为了提高排气效率，根据流体力学的原理，人们都在开发各种各样的叶片。涡轮分子泵具有非常优异的特性，但是价格却非常贵。在高速旋转时，耐冲击比较差，而且共振现象难以衰减。目前存在的问题是：固定加工时，一般是以切削加工为主，并用铣刀对每列叶片进行加工。有时也用电脉冲等加工。为要提高排气效率，则须将每片叶片加工成又薄又变长。由于加工时会发生震动，很难提高加工效率，因此加工成本非常高。从涡轮分子泵的排气原理来看，涡轮分子泵的旋转速度要与分子的运动速度相同，而旋转叶片的端部与根部的线速度是不相同。因此，需对叶片的角度进行修正，必须根部的角度大，端部的角度小。

实用新型内容：

本实用新型的目的是针对现有技术不足之处而提供一种固定叶片端部与根部线速度相同的、避免产生共振现象的用于涡轮分子泵的固定叶片。

本实用新型的目的是通过以下措施来实现：一种用于涡轮分子泵的固定叶片，其特征在于，它包括内环、外环、及多个均布的固定叶片；所述固定叶片呈直角梯形状，直角梯形的大底根部、小底根部分别与内环、外环连接为一体，所述固定叶片与内、外环平面的倾斜角向外径方向连续逐渐变小。

所述倾斜角向外径方向连续逐渐变小为直角梯形的大底部倾斜角为40度，直角梯形的小底部倾斜角为30度。

所述由内环、外环及多个均布的固定叶片由直径处分割为两半。

与现有技术相比，采用了本实用新型提出的用于涡轮分子泵的固定叶片，具有如下优点：1)固定叶片与内、外环连接，刚性提高，不易发生共振；2)固定叶片的倾斜角向外径方向连续逐渐变小，符合涡轮分子泵排气原理，排气效率大大提高；3)固定叶片可采用冲压加工完成，无需切削加式，生产成本大幅度降低，生产效率大幅度上升，且原材料浪费减少。

附图说明：

图1是本实用新型提出的一个实施例结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图对具体实施方式作详细说明：在图1所示本实用新型的一个实施例。图中，一种用于涡轮分子泵的固定叶片，它包括：内环1、外环2、及多个均布的固定叶片3。本实施例由直径处分割为两半。分为两半的结构便于安装。所述固定叶片呈直角梯形状，直角梯形的大底根部31、小底根部32分别与内环1、外环2连接为一体，所述固定叶片与内、外环平面的倾斜角向外径方向连续逐渐变小。所述倾斜角向外径方向连续逐渐变小为直角梯形的大底部倾斜角为40度，直角梯形的小底部倾斜角为30度。

上面结合附图描述了本实用新型的实施方式，实施例给出的结构并不构成对本实用新型的限制，本领域内熟练的技术人员在所附权利要求的范围内做出各种变形或修改均在保护范围内。