[实用新型]微结构立体浮雕图文制版系统

权利要求书

1.一种微结构立体浮雕图文制版系统，其特征在于：包括控制电脑、X-Y-Z轴信号扫描器、X-Y移动平台、光束能量控制器、高能光束产生器、光圈控制器、光刻角度旋转器、光束往复扫描器、自动对焦装置及用于设置光阻玻璃的固定平台；控制电脑与X-Y-Z轴信号扫描器信号连接，X-Y-Z轴信号扫描器分别与光刻角度旋转器、光束能量控制器及X-Y移动平台信号连接，光束能量控制器与高能光束产生器信号连接，高能光束产生器的输出端由近及远顺序设置光圈控制器、光刻角度旋转器、光束往复扫描器及自动对焦装置，高能光束产生器、光圈控制器、光刻角度旋转器、光束往复扫描器及自动对焦装置均架设于X-Y移动平台的X轴上，X轴连同其上架设的各装置整体架设于X-Y移动平台的Y轴上，X-Y移动平台架设于放置有光阻玻璃、感光涂层或塑料的固定平台上。

2.根据权利要求1所述的微结构立体浮雕图文制版系统，其特征在于：所述高能光束产生器为激光器。

3.根据权利要求1所述的微结构立体浮雕图文制版系统，其特征在于：所述高能光束产生器为电子束发生器。

4.根据权利要求1、2或3所述的微结构立体浮雕图文制版系统，其特征在于：所述光圈控制器包括一孔径可调节的光束孔。