[实用新型]太阳能硅片线切割导辊与专用镀膜机和电镀机

权利要求书

1.一种太阳能硅片线切割导辊，具有复合聚氨酯制成的V型导辊基体(1)，其特征是：V型导辊基体(1)表面上镀有金属复合层(1-1)，在金属复合层(1-1)表面镀有耐磨复合层(1-2)，所述的金属复合层(1-1)为镍、钛、铜和铬中的一种制成的金属复合层。

2.如权利要求1所述的太阳能硅片线切割导辊，其特征是：所述的金属复合层(1-1)的厚度为0.10um-0.38um。

3.如权利要求1所述的太阳能硅片线切割导辊，其特征是：所述的耐磨复合层(1-2)的厚度为2um-15um。

4.一种生产权利要求1～3任一项所述的太阳能硅片线切割导辊的专用镀膜机，用于复合聚氨酯制成的V型导辊基体(1)表面金属化，其特征是：包括真空室(2)以及抽真空机组(3)，真空室(2)内设有一对安装V型导辊基体(1)的导辊自公转机架(4)，导辊自公转机架(4)上对应设置至少一组安装V型导辊基体(1)的夹具(41)，真空室(2)内安装有至少一个磁控靶位(21)以及与磁控靶位(21)对应设置的金属靶位(22)，真空室(2)外设有控制磁控靶位(21)工作的磁控电源柜(23)。

5.如权利要求4所述的专用镀膜机，其特征是：所述的导辊自公转机架(4)上设置有四组安装V型导辊基体(1)的夹具(41)。

6.如权利要求4或5所述的专用镀膜机，其特征是：所述的磁控靶位(21)数量为四个，四个磁控靶位(21)均匀围绕在导辊自公转机架(4)的周向，金属靶位(22)可配置镍靶、钛靶、铜靶、铬靶中的一种。

7.一种生产权利要求1～3任一项所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，用于在已表面金属化的V型导辊基体(1)表面电镀耐磨复合层(1-2)，其特征是：包括电镀槽(5)、电镀电源(6)、设置在电镀槽(5)内的镍电极(51)、 支撑镍电极(51)的电极支架(52)和电镀液循环泵(53)，镍电极(51)具有安装V型导辊基体(1)的空腔，镍电极(51)的两端设有支撑V型导辊基体(1)并驱动V型导辊基体(1)转动的导辊支架(54)，镍电极(51)和V型导辊基体(1)之间的空腔内具有隔离网(51-1)，所述的电镀槽(5)内具有电镀液，镍电极(51)的两端分别为电镀液的进液口(51-2)和出液口(51-3)，出液口(51-3)与电镀槽(5)连通，进液口(51-2)与电镀槽(5)通过电镀液循环泵(53)连通，所述的电镀电源(6)的正极与V型导辊基体(1)电连接，电镀电源(6)的负极与镍电极(51)电连接。

8.如权利要求7所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，其特征是：所述的电镀液为镍复合电镀液。

9.如权利要求8所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，其特征是：还具有控制镍电极(51)内电镀液中碳化硅和/或金刚石微粒浓度的微粒添加装置，所述的微粒添加装置包括微粒贮存器和实时微粒含量探测控制器，所述的微粒贮存器与镍电极(51)的空腔连通，所述的实时微粒含量探测控制器设置在镍电极(51)空腔内的电镀液中并与微粒贮存器控制连接。

10.如权利要求7所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，其特征是：所述的电镀槽(5)上设有测量电镀液的pH计(7)和温度计(8)。