[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述磁控溅射镀膜设备包括真空箱、设于所述真空箱内的移动小车、与所述移动小车连接并驱使所述移动小车作水平移动的直行驱动装置、与所述直行驱动装置连接的靶连接座、分别与所述直行驱动装置以及靶连接座连接并驱动所述靶连接座作纵向移动的升降驱动装置、与所述靶连接座固定连接磁控溅射靶。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述直行驱动装置包括与所述真空箱固定连接的主电机、与所述主电机连接并同步旋转的丝杆、套设于所述丝杆并与所述丝杆通过螺纹配合连接的丝杆螺母，所述丝杆螺母与所述移动小车固定连接。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述直行驱动装置包括输出端与所述移动小车固定连接的气动伸缩缸或液压伸缩缸，所述气动伸缩缸或液压伸缩缸与所述真空箱固定连接。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述升降驱动装置包括与所述真空箱固定连接的副电机、与所述副电机连接并同步旋转的滑键轴、可滑动地套设于所述滑键轴的环套体、与所述环套体连接的升降传动组件、与所述移动小车固定连接的环套轴承，所述升降传动组件与所述靶连接座连接，所述环套体安装于所述环套轴承。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述升降传动组件包括与所述环套体通过齿啮合连接的水平过渡轴组件、与所述水平过渡轴组件通过齿啮合连接的水平传动齿轮、通过轴承可旋转地安装于所述移动小车的纵杆螺母、与所述纵杆螺母通过螺纹配合连接的纵向螺杆，所述纵向螺杆的一端与所述靶连接座固定连接，所述水平传动齿轮与纵杆螺母可同轴旋转地固定连接。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述环套体外周面设有斜齿，所述水平过渡轴组件包括与所述环套体啮合的第一过渡齿轮、与所述第一过渡齿轮固定连接的过渡轴、与所述过渡轴连接并同步旋转的第二过渡齿轮、所述第二过渡齿轮与所述水平传动齿轮啮合。

7.根据权利要求4所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述升降传动组件包括与所述靶连接座固定连接的齿条，所述齿条与所述环套体通过齿啮合连接。

8.根据权利要求5或7所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述升降传动组件还包括与所述靶连接座固定连接的纵向导杆、套设于所述纵向导杆并安装于所述移动小车的导套。

9.根据权利要求1或2或3或4所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于：还包括固设于所述真空箱内的支承导轨，所述移动小车通过滚轮安装于所述支承导轨。