[实用新型]石墨舟外片有效
申请号: | 201120094101.1 | 申请日: | 2011-04-01 |
公开(公告)号: | CN202004037U | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 冯银辉 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 舟外片 | ||
技术领域
本实用新型涉及石墨舟技术领域,尤其涉及一种石墨舟外片。
背景技术
石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体。现有的石墨舟外片放置硅片的位置为镂空,在加工过程中,容易因碰撞对硅片造成损坏,而且,具有镂空外片的石墨舟内气体流动不均匀,容易在石墨舟内产生横向气流,将硅片吹落,而且石墨舟内气温不稳定,影响了硅片的加工质量。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种可保护硅片并可提高硅片加工质量的石墨舟外片。
为了达到上述目的,本实用新型提出一种石墨舟外片,所述外片上放置硅片的位置设有不镂空的凹槽。
优选地,所述外片内外两侧均设有所述凹槽。
优选地,所述凹槽内设有通气孔。
优选地,所述通气孔为三个,沿所述凹槽中心均匀分布。
优选地,所述通气孔为圆形,其内径为1mm。
优选地,所述通气孔为方形、椭圆形、方形或菱形中的一种。
优选地,所述凹槽的形状至少为圆形、圆形、椭圆形、方形或菱形中的一种。
优选地,所述舟片厚度为2mm-3mm。
本实用新型提出的一种石墨舟外片,将外片上的凹槽设置为不镂空,并在凹槽上设置通气孔,避免硅片因碰撞而损坏,而且避免在石墨舟内产生横向气流,将硅片吹落,不仅起到对硅片的保护作用,同时使石墨舟内的温度更加稳定,提高硅片的加工质量。
附图说明
图1是本实用新型石墨舟外片一实施例的结构示意图;
图2是图1中A处放大示意图;
图3是图2中B-B方向的剖视放大图。
为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了,下面将结合附图作进一步详述。
具体实施方式
本实用新型技术方案总体思路是:通过将外片上的凹槽设置为不镂空,并在凹槽上设置通气孔,一方面对硅片起到保护作用,另一方面使石墨舟内的温度更加稳定,提高硅片的加工质量。
以下将结合附图及实施例,对实现实用新型目的的技术方案作详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
请一并参照图1、图2及图3所示,本实用新型一实施例提出一种石墨舟外片10,外片10内外两侧放置硅片的位置设有不镂空的凹槽101,凹槽101内设有用于通气的通气孔102。
其中,通气孔102的数量可以根据实际需要确定,本实施例中通气孔102为三个,沿凹槽101中心均匀分布。通气孔102的形状可以为圆形、方形、椭圆形、方形或菱形等。若通气孔102为圆形,其内径可以为1mm。
其中,凹槽101的形状可以为圆形、圆形、椭圆形、方形或菱形等。凹槽的深度根据实际需要设定。
此外,舟片的厚度根据实际情况确定,比如舟片厚度可以为2mm-3mm。
由于现有技术中将石墨舟片的外片上放置硅片的位置设置为镂空的凹槽,容易因碰撞对硅片造成损坏,而且,具有镂空外片的石墨舟内气体流动不均匀,容易在石墨舟内产生横向气流,将硅片吹落,对硅片起不到保护作用,由于石墨舟内气温不稳定,影响了硅片的加工质量。本实用新型将外片上放置硅片的凹槽设置为不镂空,以起到对硅片的保护作用;同时,为了避免因石墨舟内气流不通而使硅片无法贴紧舟片,在外片的凹槽上设置通气孔102,更有利于石墨舟的工作环境。这种外片结构设计避免了硅片因碰撞而损坏,而且避免在石墨舟内产生横向气流,将硅片吹落,不仅起到对硅片的保护作用,同时使石墨舟内的温度更加稳定,提高硅片的加工质量。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的