[实用新型]冷水脱胶机构

说明书

技术领域

本实用新型属于一种单晶硅片制作工艺中的脱胶装置，涉及一种冷水脱胶机构。

背景技术

在将单晶硅方锭送入切割机切割成单晶硅片之前，需要将方锭粘贴在晶托上，然后将晶托倒挂送入切割机。

当切割机把方锭切割成单晶硅片后的下一道工序，是要去除方锭与晶托之间的粘胶，使单晶硅片与晶托脱离，晶托可循环使用。

要使粘胶与单晶硅片脱离，可以采用热水或冷水浸泡，利用热胀冷缩的原理，实现粘胶与单晶硅片的自动脱离。

但现有技术的缺点是：采用热水或冷水浸泡的工序都比较繁琐，成本过高，且需要较大面积的水池，占用生产场地过多。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单，成本低，操作简便的冷水脱胶机构，能够简化粘胶与单晶硅片的脱离工序。

为达到上述目的，本实用新型提供一种冷水脱胶机构，其关键在于：由至少二台结构一致的冷水喷淋器组成，每台所述冷水喷淋器设置有左站架和右站架，所述左站架上固定有左水管，所述右站架上固定有右水管，所述左水管和右水管相互平行，且所述左水管上开有一列朝右的喷水孔，所述右水管上开有一列朝左的喷水孔。

只需将粘胶与单晶硅片放置在左水管和右水管的喷水孔下，左水管和右水管向粘胶与单晶硅片喷淋冷水，进行快速的冷却降温，就可以实现粘胶与单晶硅片的脱落。

所述左水管和右水管连接在同一支水管上，该支水管上安装有开关；通过开关可以调节水的出水量和喷射角度。

所述各冷水喷淋器中的支水管连接在同一总水管中。

所述各冷水喷淋器中的左站架和右站架安装在同一平台上；

可根据晶托和单晶硅片的尺寸，在左站架和右站架之间的平台上放置相应尺寸的单晶硅片托盘。

所述平台下方设置有引流槽，所述引流槽中的水经水泵引入水槽，所述总水管中与该水槽相通。

冷水经水泵抽回，可以直接回收，再次利用，降低了成本。

本实用新型的显著效果是：提供了一种结构简单，成本低，操作简便的冷水脱胶机构，简化了粘胶与单晶硅片的脱离工序。

附图说明

图1是冷水喷淋器的结构示意图；

图2是本实用新型出胶口的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1、2所示，一种冷水脱胶机构，由至少二台结构一致的冷水喷淋器组成，每台所述冷水喷淋器设置有左站架1和右站架2，所述左站架1上固定有左水管3，所述右站架2上固定有右水管4，所述左水管3和右水管4相互平行，且所述左水管3上开有一列朝右的喷水孔，所述右水管4上开有一列朝左的喷水孔。

所述左水管3和右水管4连接在同一支水管5上，该支水管5上安装有开关6；

所述各冷水喷淋器中的支水管5连接在同一总水管中7。

所述各冷水喷淋器中的左站架1和右站架2安装在同一平台上；

所述平台下方设置有引流槽8，所述引流槽8中的水经水泵9引入水槽10，所述总水管中7与该水槽10相通。