[实用新型]一种冷却挡板装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及到一种镀膜溅射冷却系统装置,尤其涉及到一种冷却挡板装置。

背景技术

在目前的真空镀膜设备中，作为当今被广泛采用的磁控溅射镀膜工艺，对其工作环境要求极为苛刻。冷却系统却是影响工作环境的重要因素，而冷却挡板装置是冷却系统中最重要的一个装置。

就目前国内真空镀膜阴极溅射用的冷却挡板，零部件繁多、冷却水管排布冗杂，零部件直接与真空箱体连接，存在冷却效果差，不能有效保护其他设备，不易拆卸，同时给设备维护、维修造成极大不便，一旦某个零部件受损坏，需要在真空箱体里维护，会直接影响到其它零部件，甚至箱体的工作环境。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中冷却水管排布冗杂，零部件繁多等缺点，而提供的一种新型冷却挡板装置。

为了达到上述的目的，本实用新型采用的技术方案是提供一种新型冷却挡板装置，其包括框架、连接板、支撑件、多排水管、冷却挡板水头压板、托架、KF法兰，其中，所述多排水管分为内循环水管和外循环水管,所述内循环水管和外循环水管均采用U型结构排布。

根据所述的冷却挡板装置，其中，所述连接板分为左右连接板，所述左连接板设置在框架左边，右连接板设置在框架右边。

根据所述的冷却挡板装置，其中，所述支撑件为支架。

根据所述的冷却挡板装置，其中，所述冷却挡板水头压板外接有真空箱体。

根据所述的冷却挡板装置，其中，所述多排水管包括进水口，出水口，内循环水管，外循环水管，其中进水口与内循环水管导通，出水口与外循环水管导通。

根据所述的冷却挡板装置，其中，所述内循环水管为U型，外循环水管为U型，所述U型结构排布为内循环水管与外循环水管首尾相连，并处于导通状态。

根据所述的冷却挡板装置，其中，所述KF法兰穿过冷却挡板水头压板与多排水管进出水口相连。

本实用新型采用独特的整体框架结构，把各个零部件有机结合为一整体，更加方便拆卸组装，可直接把冷却装置整体吊出箱体外进行维护。同时更重要根据溅射时腔体内热量分布特点，排布了大面积冷却水路循环系统，极大提高了冷却效果和镀膜质量，增强了各配件的使用寿命，减少了各零部件的更换维修次数。增加了整体镀膜设备的综合性能。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型多排水管的结构示意图。

1-框架；2-左连接板；3-支腿；4-多排水管；5-冷却挡板水头压板；6-托架；7-右连接板；8-KF法兰；10-内循环水管；12-进水口；13-出水口；14-外循环水管。

具体实施方式

本发明保护的是一种新型冷却挡板装置，只要是本领域技术人员了解本发明实施例，不经过创造性的劳动，仅是同等技术的替换，都属于本发明的保护范围。

如图1、图2所示，在冷却挡板装置的框架1上设置有支腿3，在框架1的两边分别设置有左右连接板（2，7），在框架1的上端设有多排水管4，在框架1的前后端设置有托架6，其对多排水管4起稳定作用，在多排水管的进出水口（12，13）上端设有冷却挡板水头压板5和KF法兰8，所述KF法兰8穿过

冷却挡板水头压板5与进出水端口（12，13）连接。所述冷却挡板水头压板5还与真空箱体（在图中没有显示出来）连接。

所述内循环水管为U型，外循环水管为U型，所述U型结构排布为内循环水管与外循环水管首尾相连，并处于导通状态。

如图2所示，多排水管4内设置有进出水口（12，13）进水口12与内循环水管10道通，出水口13与外循环水管14导通，内循环水管10和外循环水管14相互之间也处于导通状态，当冷却水经进水口12进入到内循环水管10，再流经外循环通道14，从出水口13流出，另一实施例，进水口10也可以与外循环通道14相连，出水口13与内循环通道10相连，内循环水管10和外循环水管14相互之间处于导通状态。