[发明专利]物理量测量装置及物理量测量方法

权利要求书

1.一种物理量测量装置，其特征在于：其设置在被处理体的表面，且测量在温度变化的氛围中处理被处理体时的物理量；且包含：

物理量传感器，其电阻值根据所述物理量的变化而变化；

虚拟传感器，其具有预先规定的电阻值，且电阻值相对于所述物理量的变化的变化量比所述物理量传感器的电阻值相对于所述物理量的变化的变化量小；

第一布线，其将所述物理量传感器与测量电路连接；及

第二布线，其将所述虚拟传感器与所述测量电路连接；

所述第一布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量与所述第二布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量的比率为固定。

2.根据权利要求1所述的物理量测量装置，其特征在于：

所述第一布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量与所述第二布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量相同。

3.根据权利要求2所述的物理量测量装置，其特征在于：

所述第一布线的截面积与所述第二布线的截面积相同；

所述第一布线与所述第二布线分别平行地配置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量测量装置，其特征在于：

所述第一布线与所述第二布线至少在一边搬送被处理体一边进行热处理的搬送方向上延伸；

在被处理体的搬送中，所述第一布线与所述第二布线分别配置在相同的温度环境下。

5.根据权利要求4所述的物理量测量装置，其特征在于：

所述热处理是光刻处理中的热处理。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量测量装置，其特征在于：

所述被处理体是平板显示器用基板。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的物理量测量装置，其特征在于：

所述物理量是被处理体的温度；

所述物理量传感器是温度传感器。

8.一种物理量测量装置，其特征在于：其设置在被处理体的表面，且测量在被处理体的搬送方向上温度发生变化的氛围中一边搬送该被处理体一边进行处理时的物理量；且包含：

物理量传感器，其电阻值根据所述物理量的变化而变化；

虚拟传感器，其具有预先规定的电阻值，且电阻值相对于所述物理量的变化的变化量比所述物理量传感器的电阻值相对于所述物理量的变化的变化量小；

第一布线，其将所述物理量传感器与测量电路连接；及

第二布线，其将所述虚拟传感器与所述测量电路连接；

所述第一布线的材质与所述第二布线的材质相同；

所述第一布线的长度与所述第二布线的长度相同；

所述第一布线的截面积与所述第二布线的截面积相同；

所述第一布线与所述第二布线至少在被处理体的搬送方向上延伸，且分别平行地配置。

9.一种物理量测量方法，其特征在于：其使用设置在被处理体的表面的物理量测量装置，来测量在温度变化的氛围中处理被处理体时的物理量；且

所述物理量测量装置包含：

物理量传感器，其电阻值根据所述物理量的变化而变化；

虚拟传感器，其具有预先规定的电阻值，且电阻值相对于所述物理量的变化的变化量比所述物理量传感器的电阻值相对于所述物理量的变化的变化量小；

第一布线，其将所述物理量传感器与测量电路连接；及

第二布线，其将所述虚拟传感器与所述测量电路连接；

所述第一布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量与所述第二布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量的比率为固定；

所述物理量测量方法是

分别将所述第一布线与所述第二布线配置在所述氛围中；

在所述测量电路中，测定包含所述物理量传感器的电阻值与所述第一布线的电阻值的第一电阻值；

在所述测量电路中，测定包含所述虚拟传感器的电阻值与所述第二布线的电阻值的第二电阻值；

从所述第二电阻值中减去所述虚拟传感器的电阻值，而算出所述第二布线的电阻值；

根据所述第二布线的电阻值算出所述第一布线的电阻值；

从所述第一电阻值中减去所述第一布线的电阻值，而算出所述物理量传感器的电阻值；

根据所述物理量传感器的电阻值测量所述物理量。