[发明专利]用于探测电磁辐射的装置

权利要求书

1.一种用于探测电磁辐射的装置，包括位于单个基板(14)上的：

-主动辐射热测量计(7)，装配有对所述电磁辐射(8)敏感的第一元件(12)，

-参考辐射热测量计(10)，与主动辐射热测量计(7)相同，装配有对所述电磁辐射(8)敏感的第二元件(13)，

-盖(15)，具有外壁(16)和面向第二敏感元件(13)的内壁(17)，所述盖(15)至少覆盖所述第二敏感元件(13)的暴露于所述电磁辐射(8)的部分并布置有分离所述第二敏感元件(13)和所述内壁(17)的中空空间，以及，

-反射罩(18)，形成暴露于所述电磁辐射(8)的所述外壁(16)的至少一部分，

装置的特征在于，所述盖(15)的所述内壁(17)由吸收层(20)构成，所述吸收层(20)由至少吸收所述第二敏感元件(13)发射的热辐射的材料制成。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述盖(15)完全包封所述第二敏感元件(13)。

3.根据权利要求1和2之一所述的装置，其特征在于，所述盖(15)压在所述基板(14)上。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述盖(15)与所述基板(14)形成容纳有所述参考辐射热测量计(10)的封闭腔(19)。

5.根据权利要求1和2之一所述的装置，其特征在于，所述参考辐射热测量计(10)具有包括锚固点(6)的绝热微桥结构，且所述盖(15)压在至少两个所述锚固点(6)上。

6.根据权利要求1、2或3任一所述的装置，其特征在于，所述吸收层(20)是多层的。

7.根据权利要求1、2或3任一所述的装置，其特征在于，所述吸收层(20)由至少一种选自黑金、铂、银和铬的多孔金属吸收材料形成。

8.根据权利要求1、2或3任一所述的装置，其特征在于，所述吸收层(20)由至少一种包含石墨的聚合物材料形成。

9.根据权利要求1、2或3任一所述的装置，其特征在于，所述吸收层(20)由至少一种选自氮化钛和镍铬合金的电阻性吸收材料形成。

10.根据权利要求1、2或3任一所述的装置，其特征在于，所述盖(15)包括置于所述吸收层(20)和所述反射罩(18)之间的支撑层(30)，并且所述主动辐射热测量计(7)被膜盒(29)包封，所述支撑层(30)由对所述参考辐射热测量计(10)发射的所述电磁辐射透明的材料构成。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述支撑层(30)的所述透明材料选自单晶硅、多晶硅、非晶硅、单晶锗、多晶锗以及硅锗合金。