[发明专利]薄膜太阳能电池用槽加工工具及该电池的槽加工装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池用槽加工工具，该薄膜太阳能电池用槽加工工具是保持于保持器、并用于与所述保持器一起沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的槽加工工具，

所述薄膜太阳能电池用槽加工工具具备：

工具主体，其保持于所述保持器；和

刀尖部，其形成于所述工具主体的末端部，并在移动方向的前往移动侧的末端和返回移动侧的末端具有刀刃，

所述刀尖部以其移动方向的宽度随着朝向末端变窄的方式、倾斜且对称地形成对置的前往移动侧的侧面和返回移动侧的侧面。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池用槽加工工具，其中，

所述刀尖部的刀刃形成为直线状，

所述前往移动侧的侧面及所述返回移动侧的侧面的、相对于所述刀刃的前面角度为50°以上且80°以下。

3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池用槽加工工具，其中，

所述刀尖部的末端的槽形成方向的宽度为50μm以上且200μm以下。

4.一种薄膜太阳能电池的槽加工装置，该薄膜太阳能电池的槽加工装置是沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线使槽加工工具相对于基板相对移动并在所述基板上形成槽的槽加工装置，

所述薄膜太阳能电池的槽加工装置具备：

载置薄膜太阳能电池基板的工作台；

供权利要求1～3中任一项所述的槽加工工具安装的头；和

用于使所述工作台和所述头在水平面内相对移动的移动机构，

所述头具备：

能够上下移动的保持器；

摆动部件，其以与所述槽形成方向正交的摆动轴为支点摆动自如地支承于所述保持器，且所述摆动部件保持所述槽加工工具；和

按压部件，其以预定的按压力相对于基板按压保持于所述保持器的槽加工工具。

5.根据权利要求4所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述摆动部件以所述摆动轴为支点在±5°的范围内摆动自如。

6.根据权利要求5所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述薄膜太阳能电池的槽加工装置还具备：

用于在除加工时以外将所述摆动部件维持于中立位置的中立维持机构；和

以所述摆动部件的摆动角度不超过±5°的范围的方式限制摆动范围的制动器。

7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述中立维持机构具有夹着所述摆动部件而对所述摆动部件向中立位置施力的1对弹性部件。

8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述弹性部件是螺旋弹簧。

9.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述弹性部件是软质制的橡胶。

10.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述弹性部件是板簧。

11.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述中立维持机构具有：

在所述摆动部件的至少上端设置的磁性体；和

在所述保持器上与所述磁性体隔开预定的间隙地对置配置的磁铁。

12.根据权利要求6～11中任一项所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述制动器固定于所述保持器，并具有以隔着预定的间隙夹着中立位置的所述摆动部件的上端部的方式配置的1对抵接面。

13.根据权利要求6～11中任一项所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，

所述制动器固定于所述保持器，并具有隔着预定的间隙对置地配置于中立位置的所述摆动部件的摆动方向的两侧面的1对抵接部件。