[发明专利]超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置无效

专利信息
申请号: 201110414297.2 申请日: 2011-11-24
公开(公告)号: CN102518740A 公开(公告)日: 2012-06-27
发明(设计)人: 刘家郡;江海;刘建芳;焦晓阳;李晓韬;杨志刚 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: F16F13/00 分类号: F16F13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 超声波 悬浮 和气 混合 装置
【权利要求书】:

1.一种超声波悬浮和气浮的混合悬浮装置,是通过超声波近声场悬浮和气浮两种混合悬浮式方实现悬浮减振。该混合悬浮装置包括:工作平台(1)、进气孔(2)、气流道(3)、气浮支承(4)、平台底座(6)、超声波换能器圆盘(9)、超声波换能器(11)、仪器支架(14)、超声波信号发生器(15)、空气压缩机(16)。其特征在于:气浮支承(4)上表面与工作平台(1)固定连接,气浮支承(4)下表面与平台底座(6)固定连接。超声波换能器(11)与超声波换能器圆盘(9)固定连接。超声波换能器(11)和超声波信号发生器(15)相连。超声波换能器(11)与仪器支架(14)固定连接。气浮支承(4)放置在超声波换能器圆盘(9)上。空气压缩机(16)出来的气体经过过滤后进入到进气口(2)。

2.根据权利要求1所述的超声波悬浮和气浮的混合悬浮装置,其特征在于:工作平台(1)、气浮支承(4)和平台底座(6)固定在一起形成了一个气流道(3)。气流道(3)是为了给平台底座(6)上的节流孔(7)供气。

3.根据权利要求1所述的平台底座(6),其特征在于:平台底座(6)的内侧分布着4个径向节流孔(7)和对应的压力腔(8)。当高压气体进入径向节流孔(7)和压力腔(8)时,可以减小混合悬浮装置的径向扰动。

4.根据权利要求1所述的超声波悬浮和气浮的混合悬浮装置,其特征在于:调节超声波信号发生器(15)的输出频率与超声波换能器(11)的固有频率一致,以形成共振,在超声波换能器圆盘(9)表面产生声辐射压;空气压缩机(16)出来的高压气体经过过滤后分别进入到节流孔(17)和压力腔(18),节流孔(7)和压力腔(8),然作用在超声波换能器圆盘(9)上。这样整个连接好的气浮支承(4)就被超声波悬浮和气浮共同悬浮起来。混合悬浮时,超声波悬浮改善了气浮单独工作时的气旋现象和气锤振动,并提高了悬浮刚度。

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