[发明专利]汽车电子油门位置传感器

权利要求书

1.一种电子油门踏板位置传感器，其特征是一种基于径向充磁磁性薄膜的汽车电子油门位置传感器，其结构是：在防爆外壳（6）的内部，自上而下依次是自旋阀巨磁阻（1）、PCB板（2）、芯架（3）、径向充磁磁性薄膜（4）和旋转轴（5）；其中，旋转轴（5）位于芯架（3）的内腔中，该旋转轴的顶面镀有径向充磁磁性薄膜（4）。

2.根据权利要求1所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述径向充磁磁性薄膜（4）为以陶瓷为衬底材料上的缓冲层、永磁薄膜及保护层的自下而上排列的叠层结构，其中：永磁薄膜为铝镍薄膜，缓冲层为                                                材料制成的膜体，保护层为薄膜。

3.根据权利要求2所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述永磁薄膜的厚度为。

4.根据权利要求2所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述缓冲层的厚度为。

5.根据权利要求2所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述保护层的厚度为。

6.根据权利要求2所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述径向充磁磁性薄膜（4）由以下方法制成：先将陶瓷衬底清洗干燥；再将掩膜板覆盖于陶瓷材料衬底表面压紧，在真空度≥时，加热陶瓷材料衬底至，工作气压为；一步步通过磁控溅射法生长材料缓冲层，铝镍永磁薄膜并保温1小时；接着升温至进行二次退火；冷却至室温时生长薄膜保护层；最后利用充磁机对薄膜保护层充磁。

7.根据权利要求1所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述芯架（3），其外部呈阶梯形状的圆台，其内部设有用于容纳和支撑旋转轴（5）的空腔。

8.根据权利要求1所述的电子油门踏板位置传感器，其特征是所述旋转轴（5）为帽状轴，由圆台体和与之底部连为一体的圆柱体构成，材质为陶瓷材料。