[发明专利]降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法

权利要求书

1.降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法是按下述步骤进行的：

步骤一、用混酸对磷化锗锌晶体刻蚀1～5min，混酸是浓盐酸和浓硝酸按1∶(1～3)体积比混合而成的，然后用一级去离子水冲洗干净，再吹干，然后放入石英管内，再抽真空至真空度10-4Pa以上进行封装；

步骤二、然后以10～60℃/h速率升温至500～700℃，保温退火200～400h，再以10～60℃/h速率降温室温；

步骤三、对经步骤二处理的磷化锗锌晶体进行辐照，其中辐照能量为1～15MeV，辐照总剂量为1.0×10¹⁴～1.0×10¹⁸cm^-2，辐照为γ射线辐照或电子辐照；即完成了降低磷化锗锌晶体吸收系数。

2.根据权利要求1所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于步骤一所述磷化锗锌晶体为整块磷锗锌晶锭或者磷化锗锌光参量振荡元件。

3.根据权利要求1或2所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于步骤二采用水平单温区退火炉进行保温退火，它主要由外壳(1)、电阻丝(2)、石英管(3)、保温材料(4)、热电偶(5)和内管(9)构成，内管(9)内设置有石英管(3)，内管(9)外壁缠绕电阻丝(2)，保温材料填充在内管(9)和外壳(1)之间，热电偶(5)安装在石英管(3)的两侧。

4.根据权利要求3所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于步骤三中辐照能量为2～4MeV，辐照总剂量为1.0×10¹⁵～1.0×10¹⁶cm^-2。

5.降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法是按下述步骤进行的：

步骤一、用混酸对磷化锗锌晶体刻蚀1～5min，混酸是浓盐酸和浓硝酸按1∶(1～3)体积比混合而成的，然后用一级去离子水冲洗干净，再吹干，然后连同退火气氛材料一起放入石英管内，磷化锗锌晶体两端用石英支撑架垫起，抽真空至真空度10^-4Pa以上进行封装，其中退火气氛材料为纯度均在为99.999％以上的ZGP、ZnP₂、Zn或者P中的一种或者其中几种的混合；

步骤二、然后以10～60℃/h速率升温至500～700℃，保温退火200～400h，再以10～60℃/h速率降温室温；

步骤三、对经步骤二处理的磷化锗锌晶体进行辐照，其中辐照能量1～15MeV，辐照总剂量1.0×10¹⁴～1.0×10¹⁸cm^-2，辐照为γ射线辐照或电子辐照；即完成了降低磷化锗锌晶体吸收系数。

6.根据权利要求5所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于步骤一所述磷化锗锌晶体为整块磷锗锌晶锭或者磷化锗锌光参量振荡元件。

7.根据权利要求5或6所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于所述ZnP₂的制备方法如下：将纯度为99.999％以上的Zn和纯度为99.999％以上的红磷按1∶(1～1.2)的摩尔比封装在石英管的两端，然后将石英管内的真空度控制在10-4Pa以上，加热，将红磷的一端加热温度控制在500～530℃，并将Zn的一端加热温度控制在1040～1080℃进行反应6h；即得到ZnP₂。

8.根据权利要求7所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于步骤二在550～650℃条件下保温退火。

9.根据权利要求8所述降低磷化锗锌晶体吸收系数的方法，其特征在于步骤三中辐照能量为2～4MeV，辐照总剂量为1.0×10¹⁵～1.0×10¹⁶cm^-2。