[发明专利]被加工物载置固定用工作台的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光加工装置等中所使用的用以载置固定被加工物的工作台，尤其是涉及一种可从正反两面观察所固定的被加工物的工作台。

背景技术

对于在蓝宝石等的基板形成着器件图案的被加工物，通过照射脉冲激光而形成用于分割的起点的方法为众所周知(例如参照专利文献1)。

另外，在想要利用专利文献1中所揭示的装置将基板在规定位置分割的情况下等，在欲对载置固定在工作台(也称作载物台等)上的被加工物进行加工时，存在想从被加工物的背面侧(与工作台接触的一侧)观察该被加工物的情形。可从背面侧较佳地观察吸附固定在载物台上的透明性基板的观察装置已为众所周知(例如参照专利文献2)。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：国际公开第2006/062017号

专利文献2：日本专利特开2009-244549号公报

发明内容

专利文献2中所揭示的观察装置所包含的载物台是以石英玻璃等透明的构件形成，且在该载物台的内部，设置着成为用以吸引固定被加工物的吸气通路的吸引用管。所述载物台是以如下方式制作：通过机械加工分别对成为该载物台的上半部分的透明构件与成为下半部分的透明构件的管形成对象位置进行钻孔，然后将两个构件以各自的钻孔位置一致的方式固定。而且，还进行将黑色等低亮度色的涂料涂布在管部分的处理，以抑制设置在内部的吸引用管中的漫反射。假设不进行所述处理时，会观察到管本身的像，而对被加工物的识别性造成影响，因此不佳。

因为以所述制程加以制作，所以专利文献2中所揭示的载物台存在需要加工时间且耗费制造成本的问题。

本发明是鉴于所述课题而完成的，目的在于提供一种容易进行加工且能稳定地保持被加工物的激光加工装置用的工作台及用于该工作台的玻璃夹盘。

为了解决所述课题，技术方案1的发明是在激光加工装置中载置固定被加工物的工作台的制造方法，其特征在于包括如下步骤：准备平板状的玻璃板；在所述玻璃板的一主面的吸引用槽的形成预定位置，通过喷砂处理而形成粗糙槽；及蚀刻所述粗糙槽的表面而获得所述吸引用槽。

技术方案2的发明是根据技术方案1所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：在所述玻璃板的所述一主面，以包含俯视时呈蜂窝状配置的区域的方式形成所述吸引用槽。

技术方案3的发明是根据技术方案2所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：将所述吸引用槽在所述玻璃板的所述一主面的从中央呈十字状扩展的十字状区域以外的区域形成为所述蜂窝状。

技术方案4的发明是根据技术方案1至3中任一技术方案所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：所述玻璃板为透明。

技术方案5的发明是根据技术方案1至4中任一技术方案所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于还包括如下步骤：通过所述喷砂处理与所述蚀刻处理，在所述玻璃板的所述被载置面，将与所述吸引用槽连通且到达至所述玻璃板的端部为止的第二吸引用槽与所述吸引用槽同时形成，并且通过保持框保持形成着所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中设置着在一端部与所述第二吸引用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的吸引用管的连接部的吸气路径。

技术方案6的发明是根据技术方案4所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于还包括如下步骤：通过所述喷砂处理与所述蚀刻处理，在所述玻璃板的所述被载置面，将与所述吸引用槽连通且到达至所述玻璃板的端部为止的第二吸引用槽与所述吸引用槽同时形成，并且通过保持框保持形成着所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中设置着在一端部与所述第二吸引用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的吸引用管的连接部的吸气路径。

[发明的效果]

根据技术方案1至技术方案6的发明，可实现工作台的制造时间的缩短与制造成本的降低。

尤其根据技术方案2的发明，不仅实现了工作台的制造时间的缩短与制造成本的降低，而且在工作台上载置固定被加工物以进行激光加工时的加工精度也得以稳定地确保。

尤其根据技术方案3的发明，不仅实现了工作台的制造时间的缩短与制造成本的降低，而且加工时所进行的对准处理的精度也得以确保。

尤其根据技术方案4的发明，不仅实现了工作台的制造时间的缩短与制造成本的降低，而且在包含对应的观察系统的激光加工装置中加以使用时，被加工物的正反两面均可进行观察。

附图说明