[发明专利]被加工物载置固定用工作台的制造方法

权利要求书

1.一种被加工物载置固定用工作台的制造方法，该工作台是在激光加工装置中载置固定被加工物，该被加工物载置固定用工作台的制造方法的特征在于包括如下步骤：

准备平板状的玻璃板；

在所述玻璃板的一主面的吸引用槽的形成预定位置，通过喷砂处理而形成粗糙槽；及

蚀刻所述粗糙槽的表面而获得所述吸引用槽。

2.根据权利要求1所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：

在所述玻璃板的所述一主面，以包含俯视时呈蜂窝状配置的区域的方式形成所述吸引用槽。

3.根据权利要求2所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：

将所述吸引用槽是在所述玻璃板的所述一主面的从中央呈十字状扩展的十字状区域以外的区域形成为所述蜂窝状。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：

所述玻璃板为透明。

5.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于还包括如下步骤：

通过所述喷砂处理与所述蚀刻处理，在所述玻璃板的所述被载置面，将与所述吸引用槽连通且到达至所述玻璃板的端部为止的第二吸引用槽与所述吸引用槽同时形成，并且

通过保持框保持形成着所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中设置着在一端部与所述第二吸引用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的吸引用管的连接部的吸气路径。

6.根据权利要求4所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于还包括如下步骤：

通过所述喷砂处理与所述蚀刻处理，在所述玻璃板的所述被载置面，将与所述吸引用槽连通且到达至所述玻璃板的端部为止的第二吸引用槽与所述吸引用槽同时形成，并且

通过保持框保持形成着所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中设置着在一端部与所述第二吸引用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的吸引用管的连接部的吸气路径。