[发明专利]能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪

权利要求书

1.一种能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪包括：

低能电子源单元，发射低能单色电子束；

角分辨模式出射透镜单元，将所述低能电子源单元出射的电子束聚焦为发散角小于0.5°的低能入射电子束，并将该低能入射电子束照射至样品；

角分辨电子能量分析单元，接收由所述样品散射的非弹性散射电子，并对非弹性散射电子的电子能量和动量进行二维解析；

信号采集和处理单元，采集经过所述角分辨电子能量分析单元解析的信号并进行处理，从而得到损失谱I(E，k)。

2.如权利要求1所述的能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪，其特征在于，所述出射透镜单元包括：间隔适当间距依次并排设置的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极上开设有入射电子束通过的圆孔，所述第二电极上开设有入射电子束通过的矩形通孔，所述第三电极上开设有入射电子束通过的矩形通孔。

3.如权利要求2所述的能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪，其特征在于，所述第一电极、第二电极和第三电极为具有适当厚度的高纯无氧铜片，在所述高纯无氧铜片上涂覆有一层石墨。

4.如权利要求3的能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪，其特征在于，所述第一电极的厚度为3～5mm，所述第二电极的厚度为1～3mm，所述第三电极的厚度为6～10mm。

5.如权利要求4所述的能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪，其特征在于，在所述第一电极上开设的圆孔的直径为12～18mm，在所述第二电极上开设的矩形通孔的长宽尺寸20～28mm×5～15mm；在所述第三电极上开设的矩形通孔的长宽尺寸20～28mm×5～15mm。