[发明专利]石墨烯、石墨烯制备方法及应用有效
| 申请号： | 201110361135.7 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103101907A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;袁新生;王要兵 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518052 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 制备 方法 应用 | ||
1.一种石墨烯制备方法，包括如下步骤：
将起催化作用的衬底放入反应室中，抽真空；
将衬底的温度调整至400℃～500℃，通入惰性的气体，保持1分钟～60分钟，使反应室中保持无氧气氛；
通过射频辉光放电，激发反应室内的气体产生等离子体；
向反应室内通入10sccm～200sccm的有机气体，同时使所述惰性的气体的通入速度按10sccm/分钟～50sccm/分钟变化，反应1～300分钟，得到石墨烯。
2.如权利要求1所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述抽真空步骤中，将反应室真空度调整至10-3Pa以下，并保持1分钟～30分钟。
3.如权利要求1所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述惰性的气体选自氢气、氦气、氮气或氖气。
4.如权利要求1所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述惰性的气体的气流量为10sccm～200sccm。
5.如权利要求1所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述激发反应室内的气体，产生等离子体步骤为：
开启射频匹配设备，将电压从0V调整至1.1KV。
6.如权利要求1所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述有机气体选自甲烷、乙烷、乙炔、乙烯、丙烯中的至少一种。
7.如权利要求1所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述衬底为金属薄片。
8.如权利要求7所述的石墨烯制备方法，其特征在于，所述金属薄片选自铜箔、镍箔、钴箔或者铝箔。
9.一种石墨烯，其特征在于，所述石墨烯采用如下步骤制得：
将起催化作用的衬底放入反应室中，抽真空；
将衬底的温度调整至400℃～500℃，通入惰性的气体，保持1分钟～60分钟，使反应室中保持无氧气氛；
通过射频辉光放电，激发反应室内的气体产生等离子体；
向反应室内通入10sccm～200sccm的有机气体，同时使所述惰性的气体的通入速度按10sccm/分钟～50sccm/分钟变化，反应1～300分钟，得到石墨烯。
10.如权利要求9所述的石墨烯在效应晶体管、电极材料、液晶显示材料或传感器中的应用。
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