[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置，包括：

探针，所述探针包括检测传播经过对象的声波的元件；

声透镜，所述声透镜设置在所述探针与所述对象之间；

信号处理器，所述信号处理器从基于由所述探针的所述元件检测的声波的电信号获得对象信息，

其中，所述探针设置在下述位置，在所述位置，所述声透镜使所述探针的所述元件与对象的探针侧的表面在声学上共轭。

2.根据权利要求1所述的测量装置，还包括保持单元，所述保持单元设置在所述对象与所述声透镜之间并保持所述对象，

其中，所述探针设置在下述位置，在所述位置，所述声透镜使所述探针的元件与所述对象的在与所述保持单元的界面处的表面在声学上共轭。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述声透镜被设置为使得在所述探针侧是远心的。

4.根据权利要求2所述的测量装置，还包括驱动单元，所述驱动单元用于在所述保持单元上移动所述探针，

其中，所述探针检测所述探针被所述驱动单元移动到的各个位置处的声波。

5.根据权利要求1-4中的任何一个所述的测量装置，其中，所述传播经过所述对象的声波是当所述对象被光照射时产生的光声波。

6.根据权利要求1-4中的任何一个所述的测量装置，其中，所述传播经过所述对象的声波是发送到所述对象并且在所述对象内部反射的弹性波。