[发明专利]一种快速无损测量石墨烯薄膜厚度与能带结构的方法无效
| 申请号： | 201110351191.2 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102507875A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 周鹏;沈彦;孙清清;王鹏飞;张卫 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N21/21 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 无损 测量 石墨 薄膜 厚度 能带 结构 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量石墨烯薄膜厚度与能带结构的方法，其特征在于具体步骤为：
（1）提供需要测量的超薄石墨烯薄膜；
（2）利用椭圆偏振技术得到所述石墨烯薄膜的椭偏数据；
（3）根据所述石墨烯薄膜的结构建立合适的理论模型；
（4）在所建立的理论模型基础上对所得到的椭偏数据进行分析和拟合，得到所述石墨烯薄膜的厚度与能带结构。
2.根据权利要求1所述的测量石墨烯薄膜厚度与能隙的方法，其特征在于，所述的超薄薄膜为若干层还原的氧化石墨烯薄膜。
3.根据权利要求1所述的测量石墨烯薄膜厚度与能隙的方法，其特征在于，所述的理论模型为Lorentz振子模型；用Lorentz振子模型所描述的复介电常数表示为：
式中ε∞为高频介电常数，对应为远紫外即高能量时的介电常数值，ε1为复介电常数的实部、ε2为复介电常数的虚部；Ai为振荡的权重因子，Ci为中心能量，νi为阻尼系数，E为光子能量，Ai，Ci，νi为未知量，单位都为Ev；其中权重因子Ai的值表示振子i在整个振荡体系中所占的比重；由复介电常数得到材料的复折射率：
。
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