[发明专利]一种基于纳米压电纤维的压力传感器

权利要求书

1.一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维；所述硼掺杂层设于硅基底的上表面，硼掺杂层与硅基底连为一体，硅基底内设有空腔，二氧化硅薄膜生长在硅基底无空腔的一侧，2个金属电极固定在二氧化硅薄膜上，PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间，PVDF纳米压电纤维与金属电极之间形成欧姆接触。

2.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述硅基底的上表面为正方形结构。

3.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述空腔为梯台形空腔。

4.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述二氧化硅薄膜的厚度为0.5～1.5μm。

5.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述金属电极固定在二氧化硅薄膜上，是采用溅射的方法将金属电极固定在二氧化硅薄膜上。

6.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述金属电极的厚度为0.3～0.6μm。

7.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间，是通过静电纺丝装置以直写的方式将PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间。

8.如权利要求1所述的一种基于纳米压电纤维的压力传感器，其特征在于所述纳米压电纤维的直径为60～800nm。