[发明专利]一种宏微驱动变形导轨精密回转装置

权利要求书

1.一种宏微驱动变形导轨精密回转装置，其特征在于，包括在底座(1)的上表面固定安装有力矩电机(2)的壳体和轴承壳体(3)，轴承壳体(3)上端的内沿台阶上套接有轴承(6)，轴承(6)的内环与中间回转体(8)套接，中间回转体(8)的下端与轴承内环压盖(5)连接；

轴承内环压盖(5)的下端外沿设置有圆光栅(4)；

力矩电机(2)的壳体上表面设置有连接件(9)，连接件(9)的下端与力矩电机(2)的转轴固定连接，连接件(9)和中间回转体(8)同时与微动机构(10)下端连接，微动机构(10)上端面与回转工作台(13)固定连接。

2.根据权利要求1所述的宏微驱动变形导轨精密回转装置，其特征在于，所述的中间回转体(8)，包括具有通孔的圆柱体(81)，圆柱体(81)的直径两边设置有突起(82)，圆柱体(81)的通孔上端设置有凹槽(83)。

3.根据权利要求1所述的宏微驱动变形导轨精密回转装置，其特征在于，所述的微动机构(10)的结构是，包括一对固定体(101)和一对回转体(103)依次对称间隔排列在圆周，一对固定体(101)和一对回转体(103)围成的中间空间设置有移动体(102)，在移动体(102)内腔设置压电致动器(12)，固定体(101)与连接件(9)的上端面固定连接；固定体(101)与移动体(102)之间、以及移动体(102)与回转体(103)之间通过多个柔性铰(104)连接；两个回转体(103)下端面与中间回转体(8)的上端两边突起(82)分别固定连接，回转体(103)上端面与回转工作台(13)固定连接。

4.根据权利要求1所述的宏微驱动变形导轨精密回转装置，其特征在于，所述的圆光栅(4)的光栅尺固定安装在轴承内环压盖(5)上，圆光栅(4)的读数头固定安装在轴承壳体(3)上。

5.根据权利要求1所述的宏微驱动变形导轨精密回转装置，其特征在于，所述的轴承(6)作为回转工作台(13)与底座(1)之间的回转导轨，采用十字交叉滚子轴承、复合滚针轴承、静压轴承或气浮轴承。