[发明专利]一种紫外光辅助热固化纳米压印技术与材料

权利要求书

1.一种紫外光辅助热固化纳米压印技术，其特征在于，首先在常温下利用紫外光对纳米压印胶材料进行曝光，然后进行纳米压印步骤与热固化步骤；所述热固化步骤的加热温度在80℃~130℃之间，优选90℃~110℃。

2.在如权利要求1所述的一种紫外光辅助热固化纳米压印技术中使用的纳米压印胶材料，其特征在于，所述纳米压印胶材料包括多官能度环氧树脂预聚物、阳离子型光引发剂和溶剂，还可以包括增塑剂、固化加速剂、光敏剂、流平剂、脱模剂等其它添加剂。

3.根据权利要求2所述的纳米压印胶材料，其特征在于，所述多官能度环氧树脂预聚物为低粘液体，在25℃下，其粘度在10厘泊~10000厘泊，优选粘度在100~2000厘泊的预聚物。

4.根据权利要求2所述的纳米压印胶材料，其特征在于，所述多官能度环氧树脂预聚物至少包含两个以上的开环聚合的环氧基团。

5.根据权利要求4所述的纳米压印胶材料，其特征在于，所述多官能度环氧树脂预聚物的环氧基团是环氧乙烷、1,2-环氧丙烷、1,2-环氧环丁烷、1,2-环氧环戊烷或1,2-环氧环己烷。

6.根据权利要求2所述的纳米压印胶材料，其特征在于，所述阳离子型光引发剂为三芳基硫或二芳基碘鎓离子型光酸生成剂。

7.根据权利要求2所述的纳米压印胶材料，其特征在于，所述溶剂可以是非反应性溶剂如乙二醇单甲醚、氯苯、甲苯、二甲苯、丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、甲酸酯、乙酸乙酯或二甲基甲酰胺等，或它们的混合物；也可以是反应性单体，如环氧乙烷、环氧丙烷、环氧氯丙烷或1,2-环氧环己烷等。

8.根据权利要求2所述的纳米压印胶材料，其特征在于，所述多官能度环氧树脂预聚物占压印胶溶液的质量比1%~40%，优选3~10%，所述阳离子型光引发剂的用量为环氧树脂预聚物质量比的0.5%~5%，优选1%~3%。

9.由权利要求2至8之一所述的纳米压印胶材料组成的双层膜压印胶体系，其特征在于，所述双层膜压印胶的上层为旋转涂膜而成的由多官能度环氧树脂预聚物和阳离子型光引发剂组成的纳米压印胶膜，下层为旋转涂膜而成的热塑型或热固型高分子材料膜。

10.根据权利要求9所述的双层膜压印胶体系，其特征在于，所述纳米压印胶膜中加入有环氧基团的有机硅材料或非反应性有机硅材料来提高该层材料对氧等离子的抗刻蚀性，优选反应性有机硅材料。