[发明专利]电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统无效
| 申请号： | 201110326518.0 | 申请日： | 2011-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN102383096A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张东博 | 申请（专利权）人： | 华北电力大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 102206 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁 加速 联合 等离子体 辅助 增强 电子束 物理 沉积 系统 | ||
【权利要求书】：
1.电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统，其特征在于，在真空室(10)内设置可旋转的上极板(6a)和固定的下极板(6b)，在上极板(6a)上安装试样(1)，在试样(1)和下极板(6b)之间设置栅极(5)；在沉积料棒周围设置多个环绕沉积料棒分布的气体管道(8)，在气体管道的内圈设置的冷却水管道(9)；其中，上极板(6a)和下极板(6b)为正电极，栅极(5)为负电极。
2.根据权利要求1所述的电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统，其特征在于，所述试样(1)与栅极(5)的间距和下电极(6b)与栅板(5)的间距相等。
3.根据权利要求2所述的电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统，其特征在于，所述试样(1)和下电极(6b)之间的间距为20-30cm；所述试样(1)与上极板(6a)的间距小于5cm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华北电力大学，未经华北电力大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110326518.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种无级变速式自锁差速器
- 下一篇：基于喷雾机的生物恐怖袭击救援人员洗消装置
- 同类专利
- 专利分类
