[发明专利]数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置

权利要求书

1.数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，包含主轴固定端(3)，其特征在于：还包括主轴活动端(8)，所述主轴活动端(8)包含轴承套筒(35)，轴承套筒(35)内部包含活动顶尖(3)，主轴活动端(8)上还有可以使轴承套筒(35)包含活动顶尖(3)轴向移动和固定的螺杆(39)。

2.如权利要求1所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：还包括一个可以使导丝辊与主轴固定端和主轴活动端成为一个临时的整体长拉杆(31)。

3.如权利要求1所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：所述主轴活动端包含的活动顶尖(3)和主轴固定端包含的固定端顶尖(22)为圆锥面顶尖结构。

4.如权利要求3所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：所述圆锥面顶尖结构锥角α范围15°～25°。

5.如权利要求4所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：所述圆锥面顶尖结构锥角α为20°。

6.如权利要求1所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：所述主轴活动端包含的活动顶尖(3)和主轴固定端包含的固定端顶尖(22)为球面顶尖结构。

7.如权利要求6所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：球面半径SR范围SR40～SR85。

8.如权利要求1所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：所述主轴安装的导丝辊(4)配套的导丝辊套筒(47)上两端有固定端内锥套(46)与活动端内锥套(49)，导丝辊套筒(47)两端面上各有4个圆孔；4个圆孔分别可与主轴固定端的固定端传动销(23)和主轴活动端的活动端传动销(33)。

9.如权利要求1所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置，其特征在于：本发明主轴固定端的电机主轴套筒(13)通过法兰座(9)与床身1固定，固定端顶尖轴(20)前端过盈装配可更换的固定端顶尖(22)，后端通过联结轴(17)与电机主轴(16)相连，固定端顶尖轴(20)前端有一只能承受大载荷的固定端圆柱滚子轴承(21)，后端是一对高精度角接触球轴承(18)，还包含电机旋转接头(26)的电机头进水管(24)和电机头回水管(25)，包含电机进水管(27)和电机回水管(29)，包含固定端进水管(10)和固定端进回水管(11)；

活动顶尖轴(36)前端有一只能承受大载荷的活动端圆柱滚子轴承(34)，后端是一对活动端角接触球轴承(37)，包含活动端进水管(41)和活动端回水管(42)，还包含活动端旋转接头(44)以及其上的右侧进水管(43)和右侧回水管(45)。

10.数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴切割装置，其特征在于：采用如权利1-9任一所述的数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置两组配合，通过金属切割线(7)在分别安装在主轴上的两组导丝辊(4)系统上搭建构成金属切割网组成。