[发明专利]喷涂光刻胶的方法

权利要求书

1.喷涂光刻胶的方法，其特征在于：

提供待喷涂加工的晶圆；

提供喷嘴，用于将光刻胶喷洒在所述晶圆表面上；

将喷嘴沿晶圆半径方向水平移动并喷洒光刻胶，所述喷嘴从晶圆边缘的 起始位置上方水平移动至晶圆的中心位置上方。

2.如权利要求1所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述晶圆边缘的起 始位置是距圆周至之间区域的任一位置，所述R是晶圆半径。

3.如权利要求1所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，在喷嘴从晶圆边缘 的起始位置上方水平移动至晶圆的中心位置上方之后，晶圆加速至设定转动 速度转动，对喷涂的光刻胶甩胶。

4.如权利要求3所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述晶圆的设定转 动速度为1500-4000转/分钟。

5.如权利要求1所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述喷嘴在晶圆边 缘的起始位置上方与晶圆的中心位置上方悬停预定时间。

6.如权利要求5所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述悬停预定时间 为0.5s～1s。

7.如权利要求1～6中任一项所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述喷 嘴沿晶圆半径方向水平移动过程中，晶圆转动。

8.如权利要求7所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述喷嘴以恒定速 度沿半径方向水平移动，晶圆以恒定转动速度转动。

9.如权利要求8所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述喷嘴沿半径方 向的水平移动速度为30-100毫米/秒。

10.如权利要求8所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述晶圆的恒定转 动速度为500-1000转/分钟。

11.如权利要求1-6任一项所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述喷嘴 以恒定速度沿半径方向水平移动，所述喷嘴在晶圆边缘的起始位置上方时， 晶圆的起始转动速度为r1；之后，晶圆加速至r2，并以恒定转速r2转动；当 所述喷嘴移动至晶圆的中心位置上方时，晶圆减速至终止转动速度r3，所述 终止转动速度r3小于r2，所述r1小于r2。

12.如权利要求11所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述晶圆的转动 速度r1、r2、r3为500-1000转/分钟。

13.如权利要求1所述的喷涂光刻胶的方法，其特征在于，所述喷嘴距离晶圆 的高度为4mm-8mm，所述喷嘴的内径为0.5mm-4mm，所述光刻胶的流速 为1ml/s-2ml/s。