[发明专利]激光照射装置、激光照射方法及绝缘膜形成装置

权利要求书

1.一种激光照射装置，具有：

射出脉冲激光束的激光光源；

保持基板的载物台；

将抗蚀剂材料涂布在被保持于所述载物台的基板上的涂布装置；

第1传播光学系统，将从所述激光光源射出的脉冲激光束聚光于通过所述涂布装置涂布了的所述抗蚀剂材料上而进行传播，使传播位置的所述抗蚀剂材料固化；

第2传播光学系统，将从所述激光光源射出的脉冲激光束传播至通过由所述第1传播光学系统传播的脉冲激光束固化了的所述抗蚀剂材料上，去除传播位置的所述抗蚀剂材料；及

光路切换装置，使从所述激光光源射出的脉冲激光束选择性地入射至所述第1传播光学系统或所述第2传播光学系统。

2.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，

所述第1传播光学系统将脉冲能量密度相对小的脉冲激光束传播至所述抗蚀剂材料上，所述第2传播光学系统将脉冲能量密度相对大的脉冲激光束传播至已固化的所述抗蚀剂材料上。

3.如权利要求1或2所述的激光照射装置，其中，所述第1传播光学系统包含在2维方向扫描脉冲激光束并传播至所述抗蚀剂材料上的光束扫描器。

4.如权利要求3所述的激光照射装置，其中，还包含：

控制装置，控制传播通过所述光束扫描器扫描的脉冲激光束的所述基板上的位置；及

存储装置，存储应通过所述涂布装置涂布抗蚀剂材料的基板上的区域的数据，

所述控制装置根据存储于所述存储装置的数据，控制传播通过所述光束扫描器扫描的脉冲激光束的所述基板上的位置。

5.如权利要求1至4中任一项所述的激光照射装置，其中，

所述涂布装置具备遮光部件，所述遮光部件是设置于排出所述抗蚀剂材料的部分的遮光部件，所述遮光部件设置于朝向通过所述第1、第2传播光学系统传播脉冲激光束的位置中的至少一方的方向。

6.一种激光照射装置，具有：

射出脉冲激光束的激光光源；

保持基板的载物台；

将抗蚀剂材料涂布于被保持在所述载物台的基板上的涂布装置；及

传播光学系统，将从所述激光光源射出的脉冲激光束聚光于所述抗蚀剂材料上进行传播，

通过由所述传播光学系统传播的脉冲激光束，进行由所述涂布装置涂布的所述抗蚀剂材料的固化及该固化的抗蚀剂材料的局部性去除。

7.如权利要求6所述的激光照射装置，其中，

所述传播光学系统能够改变入射至所述抗蚀剂材料的脉冲激光束的入射区域的尺寸及脉冲能量密度。

8.如权利要求7所述的激光照射装置，其中，

所述传播光学系统包含：

可改变扩大率地扩大入射的激光束的光束径而射出的扩展器；

配置于从所述扩展器射出的激光束所入射的位置并具备透光区域的掩模；及

将所述掩模的透光区域的形状可改变复制倍率地复制至所述抗蚀剂材料上的复制倍率变化光学系统，

还具备控制所述扩展器的扩大率及所述复制倍率变化光学系统的复制倍率的控制装置，

当固化所述抗蚀剂材料时，所述控制装置以激光束形成相对大尺寸的入射区域并以相对小的脉冲能量密度入射至所述抗蚀剂材料的方式，控制所述扩展器的扩大率及所述复制倍率变化光学系统的复制倍率，当去除固化的所述抗蚀剂材料时，以激光束形成相对小尺寸的入射区域并以相对大的脉冲能量密度入射至被固化的所述抗蚀剂材料的方式，控制所述扩展器的扩大率及所述复制倍率变化光学系统的复制倍率。

9.一种激光照射装置，具有：

射出脉冲激光束的激光光源；

保持基板的载物台；

将抗蚀剂材料涂布于被保持在所述载物台的基板上的涂布装置；

射出使通过所述涂布装置涂布在所述基板上的抗蚀剂材料固化的光的固化用光源；及

传播光学系统，将从所述激光光源射出的脉冲激光束传播至通过从所述固化用光源射出的光固化的所述抗蚀剂材料，去除传播位置的所述抗蚀剂材料。