[发明专利]滤光器及具备该滤光器的光学模块

说明书

本申请是申请日为2009年12月08日、申请号为200910253827.2、发明名称为“滤光器及具备该滤光器的光学模块”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种滤光器及具备该滤光器的光学模块。

背景技术

以往，作为从入射光中选择目的波长的光来出射的滤光器，公知一种气隙(air gap)型且静电驱动型的滤光器，在该滤光器中，对置配置一对基板，分别在这些基板的对置的面上设置反光镜，分别在这些反光镜的周围设置电极，并且在一方反光镜的周围设置控光(diaphragm)部，通过这些电极间的静电力使控光部变位从而使这些反光镜间的间隙(gap)(气隙)变化，由此取出希望波长的光(例如，参照专利文献1、专利文献2)。

在这样的滤光器中，在制造时需要在从不到一微米到数微米这样非常狭窄的范围内控制一对反光镜间的间隙，而且，将这些反光镜间的间隙进行精度良好地维持并且控制为希望的间隙量是重要的。

在这样的滤光器中，通过使反光镜间的间隙变化，能够选择性地取出与该反光镜间的间隙相对应的波长的光。

专利文献1：特开2003-57438号公报

专利文献2：特开2008-116669号公报

但是，在以往的气隙型且静电驱动型的滤光器中，若反光镜间的平行度或反光镜的平坦度降低，则所取出的光的分光特性降低，所以平行且平坦地保持一对反光镜在维持反光镜的特性上是最重要的。

但是，在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光，而通过气隙静电驱动使反光镜间的间隙可变时，具有如下的问题点，即：控光部的挠曲传播到可动侧的反光镜，反光镜弯曲而平坦度降低，因此，取出的光的最大透过率降低，并且其半通带宽度(half bandwidth)也增大，成为呈现所谓的宽(broad)的波形，其结果，取出的光的分光特性大幅地降低。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而进行的，其目的是提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在为了选择性地取出希望波长的光而使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够抑制伴随该可变而发生的挠曲传播到可动侧的反光镜，其结果，能够取出最大透过率高且半通带宽度窄、分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地维持。

为了解决上述课题，本发明采用了以下的滤光器及具备该滤光器的光学模块。

即，本发明的滤光器，特征在于具有：第一基板；第一反光镜，其形成于所述第一基板；第二基板，其与所述第一基板接合或粘结，形成有凹部；第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板，并且形成在所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板，并且形成在与所述第一电极对置的位置；所述第一基板具有位于所述第一反光镜上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分，所述第二部分的厚度和所述第四部分的厚度比所述第一部分的厚度小。

在本发明的滤光器中，第二部分的厚度和第四部分的厚度比第一部分的厚度小。由此，即使在为了从该滤光器选择性地取出希望波长的光而使这些反光镜间的间隙可变的情况下，在第四部分产生的挠曲通过第二部分被缓和，使向可动侧的反光镜传播的挠曲量减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲也变小，该反光镜的平坦度的降低也变小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变高且半通带宽度变窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

根据以上，能够提供一种滤光器，其能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

本发明的滤光器，特征在于，所述第二部分的厚度在所述第四部分的厚度以下。

在该滤光器中，通过使第二部分的厚度为第四部分的厚度以下，在第四部分产生的挠曲通过第二部分被更加有效地缓和，向可动侧的反光镜传播的挠曲量大幅减少。由此，起因于该挠曲的可动侧的反光镜的弯曲变得极小，该反光镜的平坦度的降低也变得极小，从这些反光镜取出的光的最大透过率变得极高且半通带宽度变得极窄。因此，能够取出分光特性优异的光，并能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。

本发明的滤光器，其特征在于，所述第二部分和所述第四部分通过选择去除所述第一基板而形成。