[发明专利]滤光器及具备该滤光器的光学模块有效
| 申请号： | 201110282403.6 | 申请日： | 2009-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102354047A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 花村雄基;舟川刚夫;船坂司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B5/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤光 具备 光学 模块 | ||
【权利要求书】：
1.一种滤光器，具有：
第一基板；
第一反光镜，其设置在所述第一基板上；
第二基板，其与所述第一基板接合或粘结，形成有凹部；
第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；和
第二电极，其形成于所述第二基板，并且形成在所述第二反光镜的周围；
所述第一基板具备第一铰链部和在所述第一铰链部的内周侧形成的第二铰链部。
2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，
所述第二铰链部的梁宽在所述第一铰链部的梁宽以下。
3.根据权利要求1或2所述的滤光器，其特征在于，
所述第一基板和所述第二基板的任意一个是半导体材料。
4.一种光学模块，
具备权利要求1～3中任意一项所述的滤光器而构成。
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