[发明专利]多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法，其利用设置在反应容器上的大于或等于一根喷管，将含有玻璃原料气体以及燃烧气体等的反应气体喷出，使生成的玻璃微粒在标靶上堆叠。

背景技术

作为光纤用多孔质玻璃母材的制造方法的代表，已知外部气相沉积法(Outside vapor deposition method；OVD法)及多喷管多层沉积法(Multi-burner multi-layer deposition method；MMD法)。在这些制造方法中，从在反应容器的玻璃微粒合成用喷管侧开口的空气导入口，向反应容器内流入净化空气，将净化空气从在反应容器的与空气导入口相对的位置开口的排气口与剩余碳烟一起排出。此时，为了使玻璃微粒稳定地堆叠而高效地生产高品质的多孔质玻璃母材，重要的是使喷管的火焰稳定，提高堆叠效率。

在日本特开2006-248884号公报中，记载了下述多孔质玻璃母材的制造方法以及制造装置，其在净化空气供给室的开口部上安装网状的整流板，通过对从喷管的周围朝向标靶而整流的净化空气的供给流速进行控制，从而可以抑制不良部位的产生，高效且稳定地制造多孔质玻璃母材。作为整流板，例示出通过将多个网状的板或蜂窝形状的板重叠，或者将大量筒排列而形成大量净化空气的通路的整流板。

由于从喷管前端至碳烟体合成部的距离是根据喷管的设计条件而确定最佳长度的，所以有时随着碳烟体的母材直径增大，使喷管后退。在日本特开2003-238167号公报中记载了下述多孔质玻璃母材的制造方法以及制造装置，其使反应容器的壁形成为可变构造，并且可移动地设置喷管，通过对反应容器内的条件进行适当控制，从而即使在投入的原料气体量增加的情况下，也将装置系统的变更限制在最小限度，提高玻璃微粒的堆叠效率。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法，其可以提高堆叠速度，并且得到稳定的外径。

为了实现目的，本发明提供一种多孔质玻璃母材的制造装置，其包含：(1)反应容器，其收容标靶，具有隔着标靶而相对的第一壁面和第二壁面；(2)喷管，其将玻璃微粒向标靶喷出；以及(3)移动单元，其使标靶相对于喷管沿标靶的长度方向相对地往复运动，第一壁面具有作为净化空气的导入口的整流部，第二壁面具有排气部，喷管贯穿整流部，该制造装置的特征在于，包含：(4)喷管驱动部，其使喷管相对于标靶沿前后方向移动；(5)密闭机构，其在从整流部后退后的位置处将喷管和整流部之间的间隙闭塞。

整流部的具体例为网状板、冲孔金属板、百叶板。优选整流部和多孔质玻璃母材的表面之间的距离的最小值大于或等于100mm而小于或等于200mm。密闭机构的一种方式为，具有：筒体，其套在喷管的外部，前端开口部固定在整流部上；以及环状密封部件，其设置在筒体的后端开口部处，与喷管的外周滑动接触。在此情况下，优选筒体的长度大于或等于150mm。

作为发明的第二方式，提供一种多孔质玻璃母材的制造方法，在该方法中，使标靶相对于喷管相对地往复运动，将玻璃微粒向标靶上堆叠，该制造方法的特征在于，从净化空气的导入口、即整流部喷出净化空气，在从整流部后退后的位置处将整流部与喷管之间的间隙闭塞，同时随着由于堆叠而导致的标靶的扩径，使喷管后退，其中，整流部位于反应容器内的与标靶分离配置的壁面上，喷管贯穿整流部。

发明的效果

根据本发明所涉及的多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法，由于可以稳定地供给来自整流部的整流后的净化空气，所以可以提高多孔质玻璃母材的堆叠速度，并且得到稳定的外径。

附图说明

图1是本发明所涉及的多孔质玻璃母材的制造装置的实施方式的概念图。

图2是说明图1的多孔质玻璃母材的制造装置中的密闭机构的局部剖面图。

图3是说明对比例A所涉及的多孔质玻璃母材的制造的概念图。

图4是说明对比例B所涉及的多孔质玻璃母材的制造的概念图。

图5是说明实施例所涉及的多孔质玻璃母材的制造的概念图。

具体实施方式

下面，参照附图，说明本发明的实施方式。附图以说明为目的，并不对本发明的范围进行限定。在附图中，为了避免重复说明，利用同一标号表示同一部分。附图中的尺寸比例不一定准确。