[发明专利]多孔质玻璃母材的制造装置以及多孔质玻璃母材的制造方法

权利要求书

1.一种多孔质玻璃母材的制造装置，其包含：

反应容器，其收容标靶，具有隔着所述标靶而相对的第一壁面和第二壁面；

喷管，其将玻璃微粒向所述标靶喷出；以及

移动单元，其使所述标靶相对于所述喷管沿所述标靶的长度方向相对地往复运动，

所述第一壁面具有作为净化空气的导入口的整流部，所述第二壁面具有排气部，

所述喷管贯穿所述整流部，

其特征在于，包含：

喷管驱动部，其使所述喷管相对于所述标靶沿前后方向移动；

密闭机构，其在从所述整流部后退后的位置处将所述喷管和所述整流部之间的间隙闭塞。

2.根据权利要求1所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其特征在于，

所述整流部是网状板、冲孔金属板、百叶板中的某一种。

3.根据权利要求1或2所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其特征在于，

所述整流部和多孔质玻璃母材的表面之间的距离的最小值大于或等于100mm而小于或等于200mm。

4.根据权利要求1或2所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其特征在于，

所述密闭机构具有：

筒体，其套在所述喷管的外部，前端开口部固定在所述整流部上；以及

环状密封部件，其设置在所述筒体的后端开口部处，与所述喷管的外周滑动接触。

5.根据权利要求4所述的多孔质玻璃母材的制造装置，其特征在于，

所述筒体的长度大于或等于150mm。

6.一种多孔质玻璃母材的制造方法，在该方法中，使标靶相对于喷管相对地往复运动，将玻璃微粒向所述标靶上堆叠，

其特征在于，

从净化空气的导入口、即整流部喷出净化空气，

在从所述整流部后退后的位置处将所述整流部与喷管之间的间隙闭塞，同时随着由于堆叠而导致的所述标靶的扩径，使所述喷管后退，

其中，所述整流部位于反应容器内的与所述标靶分离配置的壁面上，所述喷管贯穿所述整流部。