[发明专利]一种蓝宝石晶体生长用复合坩埚无效

专利信息
申请号: 201110271771.0 申请日: 2011-09-15
公开(公告)号: CN102304751A 公开(公告)日: 2012-01-04
发明(设计)人: 李留臣;冯金生 申请(专利权)人: 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/20
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 罗笛
地址: 213200 江苏省常州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 晶体生长 复合 坩埚
【说明书】:

技术领域

发明属于晶体制备设备技术领域,涉及一种蓝宝石晶体生长用复合坩埚。

背景技术

在蓝宝石晶体生长系统中,坩埚是至关重要的部件,蓝宝石原材料在坩埚中加热熔化后,在籽晶的引导下进行蓝宝石晶体生长;由于蓝宝石晶体生长是在高温环境下(2000℃以上)、长时间(10天以上)缓慢进行的,因此,要求坩埚能够耐高温、长寿命、低成本;由于熔化后的液态蓝宝石原料处在坩埚的中下部,所以往往会造成坩埚中下部更容易出现损耗、开裂、破损现象,从而造成整个坩埚报废。现有技术中的坩埚,是圆筒形坩埚结构,在蓝宝石晶体生长过程中,一旦坩埚中下部损坏就会造成整体报废,从而增大了生产成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种蓝宝石晶体生长用复合坩埚,解决了现有技术中的圆筒形坩埚结构,由于坩埚中下部出现损耗、开裂、破损现象,从而造成整个坩埚报废的问题。

本发明所采用的技术方案是,一种蓝宝石晶体生长用复合坩埚,由坩埚主体和加长坩埚筒组成,坩埚主体和加长坩埚筒通过定位配合面套接。

本发明的有益效果是,通过将坩埚设置为上下复合式结构,坩埚主体通过定位配合面与加长坩埚筒连接在一起;定位配合面是圆柱面或圆锥面;坩埚主体实现正常使用寿命,加长坩埚筒可以多次重复使用,从而提高坩埚的综合使用寿命,降低生产成本;结构简单、制造容易、使用方便。

附图说明

图1是本发明坩埚实施例1工作过程中固态原料的装载示意图;

图2是本发明坩埚实施例1工作过程中原料融化后的状态示意图;

图3是本发明坩埚实施例2在壁厚较薄时的套接方式结构示意图。

图中,1.坩埚主体,2.定位配合面,3.加长坩埚筒,4.固态原料,5.液态原料。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。

如图1所示,本发明复合坩埚的结构是,由坩埚主体1和加长坩埚筒3组成,坩埚主体1和加长坩埚筒3的材质一致;坩埚主体1和加长坩埚筒3通过定位配合面2套接连接在一起。

定位配合面2为圆柱面套接,定位配合面2还可以为圆锥面套接。

参照图1、图2,对于壁厚较厚的坩埚,通过加长坩埚筒3下端口的内凸台与坩埚主体1上沿的外凸台套接,由内凸台、外凸台构成定位配合面2,实现套接。

参照图3,对于壁厚较薄的坩埚,通过加长坩埚筒3下端口的内凸台与坩埚主体1上沿的内圆面直接套接,由内凸台、内圆面构成定位配合面2,实现套接。

本发明复合坩埚在工作过程中,先将固态原料装载到加长坩埚筒3的上沿高度,然后,随着原料的不断融化,当全部融化后的实际溶液平面处于坩埚主体1的盛装容量之内,坩埚主体1承受更大的工作负载,当坩埚主体出现损耗、开裂、破损现象时,可以正常更换,实现正常使用寿命,而加长坩埚筒则可以多次重复使用,显著减低了加长坩埚筒的更换周期,降低成本效果明显。

本发明的复合坩埚,结构简单、制造容易、使用方便,可广泛应用在蓝宝石晶体生长系统、太阳能硅单晶生长系统、激光晶体生长系统和其它高温晶体生长系统中。

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