[发明专利]光器件单元及检测装置有效
申请号: | 201110264334.6 | 申请日: | 2011-09-07 |
公开(公告)号: | CN102401794A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 坂上裕介;尼子淳 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 器件 单元 检测 装置 | ||
1.一种光器件单元,其特征在于,具有:
光器件,所述光器件具有导电体,并能够增强接收来自光源的光而产生的拉曼散射光;以及
向所述光器件引导气体样本的引导部,
所述引导部在与所述光器件面对的区域具有使所述气体样本回旋的第一流路。
2.根据权利要求1所述的光器件单元,其特征在于,
所述第一流路具有使所述气体样本向与所述导电体的假想平面平行的方向回旋的壁面。
3.根据权利要求2所述的光器件单元,其特征在于,
所述第一流路具有圆筒状结构,所述壁面是所述圆筒状结构的内周面。
4.根据权利要求1所述的光器件单元,其特征在于,
所述第一流路具有使所述气体样本向与所述导电体的假想平面垂直的垂直方向回旋的壁面。
5.根据权利要求4所述的光器件单元,其特征在于,
所述第一流路具有空心状结构,所述壁面是所述空心状结构的内侧球面。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光器件单元,其特征在于,
所述引导部还包括与所述第一流路连接的第二流路,
所述第二流路具有螺旋结构。
7.根据权利要求6所述的光器件单元,其特征在于,
所述引导部在所述螺旋结构的入口侧具有所述气体样本的吸引口,
所述第二流路在所述螺旋结构的出口侧与所述第一流路连接。
8.一种检测装置,其特征在于,包括:
权利要求1至7中任一项所述的光器件单元;
所述光源;
用于使来自所述光源的所述光入射到所述光器件的所述导电体的第一光学系统;以及
用于从被所述导电体散射或反射的光中检测出所述拉曼散射光的检测器。
9.根据权利要求8所述的检测装置,其特征在于,
所述光器件的所述导电体具有包括多个突起的第一突起组,
所述第一突起组的所述多个突起各自沿着与所述导电体的所述假想平面平行的方向以第一周期排列,
所述第一光学系统以来自所述光源的所述光所具有的偏振方向的与所述假想平面平行的成分与所述第一突起组的排列方向平行的方式,使来自所述光源的所述光入射到所述第一突起组。
10.根据权利要求9所述的检测装置,其特征在于,
所述第一突起组的所述多个突起各自具有在所述第一突起组的顶面上通过导电体形成的第二突起组,
与所述第一突起组的所述多个突起中的任一个突起对应的所述第二突起组的多个突起各自沿着与所述假想平面平行的所述方向以比所述第一周期短的第二周期排列。
11.根据权利要求9或10所述的检测装置,其特征在于,
在排列有所述第一突起组、且是所述第一突起组的邻接的突起间的面上,具有通过导电体形成的第三突起组,
所述第三突起组的多个突起各自在所述第一突起组的所述邻接的突起间沿与所述假想平面平行的所述方向以比所述第一周期短的第三周期排列。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的检测装置,其特征在于,
在使来自所述光源的所述光的前进方向相对于朝向所述假想平面的垂线倾斜时的表面等离子体共振在第一共振峰波长和第二共振峰波长各自下产生,
具有所述第一共振峰波长的第一共振峰波段具有由所述表面等离子体共振引起的表面增强拉曼散射的激发波长,
具有所述第二共振峰波长的第二共振峰波段具有所述表面增强拉曼散射的拉曼散射波长。
13.根据权利要求8至12中任一项所述的检测装置,其特征在于,还包括:
将所述拉曼散射光引导到所述检测器的第二光学系统,
所述检测器经由所述第二光学系统接收所述拉曼散射光。
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