[发明专利]微等离子体产生装置及其灭菌系统

权利要求书

1.一种微等离子体产生装置，包括：

一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；

一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；

一微等离子体产生单元，其包括：一气体传输腔体，具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及

一电源供应单元，其耦合该电极及该中空金属管，以于该电极及该中空金属管之间产生微等离子体。

2.如权利要求1所述的微等离子体产生装置，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。

3.如权利要求1所述的微等离子体产生装置，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。

4.一种微等离子体灭菌系统，是对一样本进行灭菌，该微等离子体灭菌系统包括：

一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；

一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；

一或复数个微等离子体产生单元，每一微等离子体产生单元包括：

一气体传输腔体，其具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；

一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；

一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；

一电极，其设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及

一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及

一电源供应单元，其耦合该微等离子体产生单元的该电极及该中空金属管，使该微等离子体产生单元于该电极与该中空金属管之间产生微等离子体。

5.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，包括：一样本槽，用于容纳该样本。

6.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该第一气体维持等离子体的气体且其为氦气或氩气，该第二气体是具反应性的气体且其为氧气或氮气。

7.如权利要求6所述的微等离子体灭菌系统，其中，该氧气于单位时间内的气体体积是该氩气的体积的20％以下。

8.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。

9.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。

10.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该样本与该气体传输管的该第一出口端的距离范围为0.1mm至10mm。

11.如权利要求10所述的微等离子体灭菌系统，其中，对该样本进行灭菌的时间范围为30秒至300秒。

12.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，微等离子体产生单元包括一定位套头，设置于第二出口端外侧且连接该散热保护腔体。