[发明专利]光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法

权利要求书

1.光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法，其特征是：采用5N以上高纯度铜、镓、铟原料，采用中频感应熔炼的方式熔化上述单一金属或合金，其中先熔化高熔点的金属再熔化低熔点的金属，模具预热，真空环境下进行浇铸，浇铸中保持加温。

2.如权利要求1所述的光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法，其特征在于，采用中频感应熔炼确保材料组织均匀性，以熔点高低先后熔化不同金属，确保各金属之间，能完全融合，防止偏析，真空浇铸避免产生气孔和发生氧化，模具预热避免熔化的合金液体注入到低温模具中时发生凝固使残留气体不能逸出而产生气孔，浇铸中保持加温，确保浇铸的液体不会立即凝固，供气体充分溢出确保材料致密，另外，在浇铸时还要保持炉体内料液的熔化状态，避免凝固。

3.如权利要求1所述的光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法，其特征在于，称取7.5公斤重量的6N高纯铜锭，2.5公斤重量的5N高纯度镓，铜鎵的重量比为75：25wt%；启动真空感应熔炼炉，预热20分钟，先投入铜锭，禁止直接接触材料，避免污染影响材料纯度，升温至铜锭熔化后投入金属镓，同时将石墨模具预热数分钟，保持石墨模具温度在300℃，保持真空感应熔炼炉温度1100℃30分钟后，开始浇铸，即将铜镓合金液放入预热石墨模具，冷却成型后脱模制得铜镓旋转靶材。

4.如权利要求3所述的光伏吸收层溅射镀膜的铜镓合金旋转靶材及制备方法，其特征在于，模具温度一直保持300℃，浇铸完成后关闭石墨模具加热器，自然降温，在铜镓合金已经完全凝固，温度降至150℃后，将铜镓合金管状旋转靶材从石墨模具中取出，对外形进行机械加工后形成成品。