[发明专利]提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置和方法

权利要求书

1.一种提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置，主要包括原料罐（1）、进料泵（2）、再沸器（3）、塔顶冷凝器（5）、回流罐（6）、回流泵（7）及高效精馏塔（4），其特征在于：原料罐（1）的出料端通过管道与进料泵（2）的进料端连接，进料泵（2）的出料端通过管道与高效精馏塔（4）的进料端连接，高效精馏塔（4）顶端设有塔顶冷凝器（5），高效精馏塔（4）下方通过管道分别与三氯氢硅罐（9）和再沸器（3）连接，塔顶冷凝器（5）的出口通过管道与回流罐（6）的进口连接，回流罐（6）通过管道分别与回流泵（7）和二氯二氢硅储罐（8）连接，回流泵（7）通过管道分别与二氯二氢硅储罐（8）、四氯化硅储罐（10）和再沸器（3）连接。

2.根据权利要求1所述的提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置，其特征在于：高效精馏塔（4）内设有高效规整填料及筛板。

3.根据权利要求2所述的提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置，其特征在于：筛板的层数为55—60层。

4.根据权利要求1所述的提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置，其特征在于：再沸器（3）为卧式。

5.根据权利要求1所述的提纯高低沸物中三氯氢硅的分离装置，其特征在于：塔顶冷凝器（5）为浮头式。

6.使用分离装置提纯高低沸物中三氯氢硅的方法，其特征在于：步骤如下：

第一步、含三氯氢硅的高低沸物经由原料罐（1）经进料泵（2）进入高效精馏塔（4）中，塔顶物料蒸汽管线与塔顶冷凝器（5）相连，冷凝后液相经回流泵（7）回流至高效精馏塔（4）塔顶，再沸器（3）使用导热油提供热量；

第二步、原料中的二氯二氢硅、三氯化硼和甲基磷化氢低沸化合物再全部回流，经由回流泵（7）一部分采出至二氯二氢硅储罐（8），其余回流至高效精馏塔（4），回流比为25：1；

第三步、在二氯二氢硅采出至不能满足工艺指标后，循环至侧线采出处温度至68℃时，采出三氯氢硅达到99.99%后进入三氯氢硅储罐（3），在此处温度变化时结束三氯氢硅采出；

第四步、再沸器（3）温度达到96℃时，依靠高效精馏塔（4）自身压力将四氯化磷、甲基硅烷、三氯化硼四氯化硅等高沸物送至四氯化硅储罐（10）。

7.根据权利要求6所述的使用分离装置提纯高低沸物中三氯氢硅的方法，其特征在于：高效精馏塔（4）的塔顶压力为200—205kpa，塔顶温度为41.8—42.5℃，侧线采出处温度为67.6—68.5℃，塔底温度为95.8—96.3℃。