[发明专利]键合铜丝在生产过程中的表面处理技术无效

专利信息
申请号: 201110238902.5 申请日: 2011-08-19
公开(公告)号: CN102263038A 公开(公告)日: 2011-11-30
发明(设计)人: 张若京;宋东升;张富尧 申请(专利权)人: 张若京
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230011 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 铜丝 生产过程 中的 表面 处理 技术
【权利要求书】:

1.键合铜丝在生产过程中的表面处理技术,特征是是在键合铜丝表面处理过程中,采用电子脉冲在铜丝的表面上浸镀一层薄而密的钯金复合镀层,提高其防氧化性和焊接性。

2.根据权利要求1所述的键合铜丝在生产过程中的表面处理技术,其特征键合铜丝生产工艺流程为:第一步,采用真空度为10-104MPa高真空炉将纯度高于99.995%高纯铜熔化,升温到1100~1180℃,精炼60~120分钟,采用定向凝固方式拉制Φ4~Φ8mm单晶铜杆;第二步,将拉制成的高纯度单晶铜杆冷加工至Φ0.95~Φ1.102mm,每道次拉拔加工率为15~25%,拉拔速度控制在40~60m/min;然后分为47~70个道次,采用每道次加工率为7.59~17.82%将单晶铜杆拉至Φ0.018~Φ0.02mm;拉制速度为400~600m/min;0.5mm以上模具表面粗糙度Ra为0.025,0.5mm以下模具表面粗糙度Ra高于0.025;保持拉丝塔轮、导向轮、收线盘等部件高度光洁,表面粗糙度Ra高于0.025;拉丝润滑剂采用水溶性润滑剂,浓度为0.4~0.8%,拉丝时温度为35~45℃;第三步,将上步骤拉制成的单晶铜键合引线表面清洗采用超声波清洗,清洗介质采用无水酒精,超声波功率40~80W,频率20~40KHz;第四步,将清洗后的单晶铜键合引线在退火复绕设备上进行热处理,其热处理温度为410~425℃,热处理时间为0.7~2.0s,退火复绕时的张力为0.6~2.8g;第五步,采用电子脉冲在铜丝的表面上浸镀一层薄而密的钯金复合镀层,提高其防氧化性和焊接性;保证焊接时镀层易打开,焊接后电子扩散对称,不产生偏移;第六步,复绕成品、包装,将热处理后的单晶铜键合引线采用真空吸塑包装,真空度为10-3~10-4Mpa。

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