[发明专利]线材接触防止构件和加热器装置的维护方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种被设在用于对半导体晶圆等被加热体进行热处理的加热装置中的加热器装置的维护方法以及用于防止加热器装置的加热器线材接触的线材接触防止构件。

背景技术

通常，为了形成半导体集成电路，对由硅基板等构成的半导体晶圆反复实施成膜处理、氧化处理、扩散处理、退火处理、蚀刻处理等。另外，进行这样的处理时，在一次对多张半导体晶圆进行处理的情况下，使用所谓的批量式的热处理装置。该热处理装置在例如日本特开平09-246261号公报、日本特开2000-182979号公报等中被公开。具体而言，呈多层地被支承在晶圆舟皿中的多张半导体晶圆被收容并被密闭在例如石英制的纵长的处理容器内。另外，能够利用气体供给部件向该处理容器内供给所需要的处理气体，并且，能够利用排气部件将该处理容器内的气氛气体排出。

另外，用于对上述半导体晶圆进行加热的加热器装置以包围该处理容器的方式设在该处理容器的外周侧。该加热器装置通过将加热器线材例如螺旋状卷绕在例如圆筒体状的绝热层的内周面侧而形成。该螺旋状的加热器线材的间距(间隔)被设定为例如10mm～30mm左右。另外，上述处理容器内的半导体晶圆一边被上述加热器装置加热成规定的温度一边被实施成膜处理、氧化处理、退火处理等热处理。

然而，在被应用于上述那样的热处理装置的加热器装置中，被用于该加热器装置的加热器线材不能避免由反复使用引起的经年变化而产生永久伸长。该永久伸长与伴随加热冷却而产生的热伸缩不同，是指加热器线材自身产生劣化而伸长的现象。

然而，产生这样的永久伸长时，会在被卷绕成上述螺旋状的加热器线材自身上产生变形。在此情况下，加热器线材弯曲变形而与相邻配置的加热器线材接触时，存在这种问题：或者接触部的接触电阻导致过度地产生热而接触部熔接，或者在最坏的情况下产生电火花等而断线。

发明内容

本发明着眼于上面那样的问题点，是为了有效地解决该问题点而发明的。本发明的目的在于提供一种能够防止加热器线材彼此接触的线材接触防止构件和加热器装置的维护方法。

为了达成上述目的，本发明的第1发明是一种绝缘性的线材接触防止构件，其特征在于，该线材接触防止构件被设在加热器装置中，该加热器装置具有螺旋状卷绕而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，该线材接触防止构件以与上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置相对应的方式配置在上述加热器线材之间。

本发明的第2发明是一种绝缘性的线材接触防止构件，其特征在于，该线材接触防止构件被设在加热器装置中，该加热器装置具有呈波形状弯曲或者反复U形转弯地弯曲而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，该线材接触防止构件以与上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置相对应的方式配置在上述加热器线材之间。

这样，因为将上述线材接触防止构件以与加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置相对应的方式配置在上述加热器线材之间，所以能够防止加热器线材彼此接触，也能够阻止加热器线材彼此熔接、断线。

本发明的第3发明是一种加热器装置的维护方法，该加热器装置具有螺旋状卷绕而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，其特征在于，其包括：发现上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置的工序、与上述间隔变窄的位置相对应地在上述加热器线材之间设置技术方案1至技术方案8中的任意一项所述的线材接触防止构件的工序。

本发明的第4发明是一种加热器装置的维护方法，该加热器装置具有呈波形状弯曲或者反复U形转弯地弯曲而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，其特征在于，该加热器装置的维护方法包括：发现上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置的工序、与上述间隔变窄的位置相对应地在上述加热器线材之间设置技术方案1至技术方案8中的任意一项所述的线材接触防止构件的工序。

采用本发明的线材接触防止构件和加热器装置的维护方法，能够发挥下面那样的优异的作用效果。

因为将上述线材接触防止构件以与加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置相对应的方式配置在上述加热器线材之间，所以能够防止加热器线材彼此接触，也能够阻止加热器线材彼此熔接、断线。

附图说明

图1是表示具有应用本发明的线材接触防止构件的加热器装置的热处理装置的一个例子的概略结构图。