[发明专利]线材接触防止构件和加热器装置的维护方法有效
| 申请号： | 201110228743.0 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102378415A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 大竹进矢 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线材 接触 防止 构件 加热器 装置 维护 方法 | ||
1.一种线材接触防止构件，具有绝缘性，其特征在于，
该线材接触防止构件被设在加热器装置中，该加热器装置具有螺旋状卷绕而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，该线材接触防止构件以与上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置相对应的方式配置在上述加热器线材之间。
2.一种线材接触防止构件，具有绝缘性，其特征在于，
该线材接触防止构件被设在加热器装置中，该加热器装置具有呈波形状弯曲或者反复U形转弯地弯曲而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，该线材接触防止构件以与上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置相对应的方式配置在上述加热器线材之间。
3.根据权利要求1所述的线材接触防止构件，其特征在于，
上述线材接触防止构件由陶瓷材料构成。
4.根据权利要求1所述的线材接触防止构件，其特征在于，
在上述加热器线材的外周侧设有绝热层。
5.根据权利要求1所述的线材接触防止构件，其特征在于，
上述线材接触防止构件通过被夹持在上述加热器线材之间而被支承。
6.根据权利要求1所述的线材接触防止构件，其特征在于，
上述线材接触防止构件通过将其顶端刺入上述绝热层而被支承。
7.根据权利要求1所述的线材接触防止构件，其特征在于，
上述加热器装置被配置在收容有上述被加热体的立式的处理容器的外周。
8.根据权利要求1所述的线材接触防止构件，其特征在于，
上述加热器装置被配置在收容有上述被加热体的容器的外周。
9.一种加热器装置的维护方法，该加热器装置具有螺旋状卷绕而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，其特征在于，
该加热器装置的维护方法包括：发现上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置的工序、与上述间隔变窄的位置相对应地在上述加热器线材之间设置权利要求1所述的线材接触防止构件的工序。
10.一种加热器装置的维护方法，该加热器装置具有呈波形状弯曲或者反复U形转弯地弯曲而配置在需要加热的被加热体的外周的加热器线材，其特征在于，
该加热器装置的维护方法包括：发现上述加热器线材的间隔由于上述加热器线材的变形而比配置上述加热器线材时的间隔变窄的位置的工序、与上述间隔变窄的位置相对应地在上述加热器线材之间设置权利要求1所记载的线材接触防止构件的工序。
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