[发明专利]铁或不锈钢表面镀钛膜的方法无效
| 申请号： | 201110206307.3 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102220558A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 黄双华;邹敏;赖奇;蓝德均 | 申请（专利权）人： | 攀枝花学院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 武森涛 |
| 地址： | 617000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 不锈钢 表面 镀钛膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.铁或不锈钢表面镀钛膜的方法，采用等离子体物理溅射气相沉积技术，其特征在于，在溅射镀钛过程中加热，加热温度为50-450℃。
2.根据权利要求1所述的铁或不锈钢表面镀钛膜的方法，其特征在于：所述加热温度为100-400℃。
3.根据权利要求2所述的铁或不锈钢表面镀钛膜的方法，其特征在于：所述加热温度控制为250℃。
4.根据权利要求1-3任一项所述的铁或不锈钢表面镀钛膜的方法，其特征在于：所述溅射镀钛过程中基底施加脉冲偏压，基底脉冲偏压为60-280V。
5.根据权利要求4所述的铁或不锈钢表面镀钛膜的方法，其特征在于：所述基底脉冲偏压为60-240V。
6.根据权利要求5所述的铁或不锈钢表面镀钛膜的方法，其特征在于：所述基底脉冲偏压为60-120V。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于攀枝花学院，未经攀枝花学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110206307.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
