[发明专利]表面处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种连续电镀装置等表面处理装置。

背景技术

作为表面处理装置、例如对工件表面进行电镀处理的电解电镀处理装置，公知的有在电镀槽内连续地运送电路基板等工件的连续电镀处理装置。工件由沿着供电轨道运送的运送夹具下垂地保持。工件一边被供电轨道经由运送夹具供电一边在电镀槽内连续地运送。在电镀槽中成为阴极的工件运送路径的两侧配置有阳极。从而在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电气分解，对工件表面进行电镀。

在电镀槽中连续运送工件的输送机的前后配置前处理输送机和后处理输送机，在各输送机之间交接保持工件的运送夹具的构造（专利文献1的图1）中，在各输送机之间需要交接装置，装置大型化。

存在取代上述构造而在履带形状的运送路径中设置电镀槽，前处理槽以及后处理槽的构造（专利文献2的图1）。

【专利文献1】日本专利第3025254号公报

【专利文献2】特开2002-363796号公报

专利文献2的构造其装置比专利文献1的装置小型化。但在专利文献2的图2中，与直线运送路径的运送相比，拐角部的运送机构加大，除了由两个推动器21a、21d驱动的连杆机构之外，还需要升降机构。

发明内容

本发明的几个技术方案提供一种能够简化拐角部的运送机构，使装置小型化的表面处理装置。

本发明的一个技术方案的表面处理装置的特征在于，具有：多个运送夹具，分别保持工件；循环运送路径，上述多个运送夹具沿着循环运送方向循环运送；表面处理槽，设在上述循环运送路径上，对由上述多个运送夹具的每一个保持的上述工件进行表面处理；运入部，设在上述表面处理槽的上述循环运送路径的上游，将未处理的工件运入上述多个运送夹具；以及运出部，设在上述表面处理槽的上述循环运送路径的下游，从上述多个运送夹具上运出处理后的工件；上述循环运送路径具有：第1直线运送路径；第2直线运送路径，与上述第1直线运送路径平行；第1旋转装置，使上述多个运送夹具的至少一个水平旋转，从上述第1直线运送路径的一端交接到上述第2直线运送路径的一端；以及第2旋转装置，使上述多个运送夹具的至少一个水平旋转，从上述第2直线运送路径的另一端交接到上述第1直线运送路径的另一端；上述第1、第2旋转装置的每一个具有：两条旋转轨道；和旋转驱动部，在将上述至少一个运送夹具支撑在位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上的状态，且位于上述循环运送方向的下游一侧的另一条旋转轨道为空的状态下，一体地间歇驱动上述两条旋转轨道逐次旋转180°；设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道的每一个配置成在停止位置与分别配置在上述第1、第2直线运送路径的上述一端以及上述另一端的四条导轨中对应的各一条导轨为一直线。

在本发明的一个技术方案中，第1、第2旋转装置的每一个将运送夹具支撑在两条旋转轨道中位于循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上，在位于循环运送方向下游一侧的的另一条旋转轨道为空状态下，一体地间歇驱动两条旋转轨道逐次旋转180°。这样一来，能够将运送夹具在第1、第2直线运送路径之间从上游一侧间接到下游一侧。

在本发明的一个技术方案中，可以是设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道在俯视看两端被倒角，上述四条导轨的上述各一条在与配置在与上述各一条为一直线上的上述旋转轨道的上述两端部的一个端部对向的端部被倒角，以在上述两条旋转轨道旋转时不与上述两条旋转轨道的上述两端部产生干扰。

在旋转轨道旋转时，由于在旋转轨道的两端部存在倒角部，所以能够使旋转轨道的最大半径的旋转轨迹不与固定轨道的端部产生干扰。而且，通过形成倒角部，能够减小旋转轨道与固定轨道之间的空隙δ。

在本发明的一个技术方案中，可以是设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道在俯视看形成两端具有第1、第2斜边的梯形，在上述停止位置，上述梯形的长边配置在比上述梯形的短边靠旋转半径方向的内侧，上述四条导轨的上述各一条在与配置成与上述各一条为一直线上的上述旋转轨道的上述第1、第2斜边的一个斜边对向的端部具有实质上与上述第1、第2斜边的一个斜边平行的斜边。

通过这种形状，能够缩短旋转轨道的最大旋转半径，防止旋转轨道与固定轨道的干扰，并且能够使旋转轨道与固定轨道之间的空隙为最小。

在本发明的一个技术方案中，可以是将上述长边与上述斜边的交点作为第1角部，将上述短边与上述斜边的交点作为第2角部，从上述旋转轨道的旋转中心到上述第1、第2角部的各长度实质上相等。