[发明专利]一种固态碳源制备石墨烯的方法无效
| 申请号： | 201110153635.1 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN102259849A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 瞿研 | 申请（专利权）人： | 无锡第六元素高科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山区长*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固态 碳源 制备 石墨 方法 | ||
1.一种固态碳源制备石墨烯的方法，其特征在于：步骤如下，
（1）在金属衬底表面喷涂有机聚合物作为固态碳源，然后将上述金属衬底置于甩胶机上匀化，再将经匀化的金属衬底加热；
（2）将步骤（1）的加热后的喷涂固态碳源的金属衬底置于真空反应炉中，在除去真空腔内氧气的情况下，将保护气注入真空腔中，并升温至800-1100摄氏度，保持最高温度1-100分钟，同时保持保护气流量，即得沉积石墨烯的金属衬底。
2.根据权利要求1所述的固态碳源制备石墨烯的方法，其特征在于：除去真空腔内氧气的方法是：
（1）将管式炉或气氛炉的气压抽至极限真空状态4～8×10-2 Torr；
（2）以气体流量1-100 sccm将纯度高于99.99%的惰性气体注入到真空腔中；
（3）关闭惰性气体进气阀门，将管式炉或气氛炉的气压抽至极限4～8×10-2 Torr；
（4）重复操作步骤（2）和步骤（3）2～3次，直至将管式炉或气氛炉内的残余氧气除至氧气分压小于10-6 Torr。
3.根据权利要求1所述的固态碳源制备石墨烯的方法，其特征在于：所述金属衬底为铜箔或镍箔。
4.根据权利要求1所述的固态碳源制备石墨烯的方法，其特征在于：所述作为固态碳源的有机聚合物为PMMA或PDMS。
5. 根据权利要求1所述的固态碳源制备石墨烯的方法，其特征是：所述保护气为体积比为97%氩气与3%氢气的混合气体。
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