[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，具备：

基板；

差压用隔膜，该差压用隔膜设置于所述基板的中央部；

第1差压用测定元件，该第1差压用测定元件设置在所述差压用隔膜的第1端边上，且沿着相对于所述差压用隔膜的中心的径向形成；

第2差压用测定元件，该第2差压用测定元件设置在所述差压用隔膜的所述第1端边上的所述第1差压用测定元件的附近，且沿着与所述径向垂直的周方向形成；以及

静压用隔膜，该静压用隔膜设置在所述差压用隔膜的外侧，且配置在所述差压用隔膜的除了所述第1端边以外的其他端边的任一个与所述基板的端部之间。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述压力传感器还具备与所述基板接合的基座，

在从所述差压用隔膜的所述第1端边到所述基板的端部之间，形成有所述基座与所述基板之间不接合的非接合区域。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述静压用隔膜的形状是在所述径向配置的端边比在所述周方向配置的端边短，

在所述静压用隔膜的中央部和在所述周方向配置的端部分别设置有静压用测定元件。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，

所述静压用隔膜形成为长方形状。

5.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述静压用隔膜形成为正方形状，

在所述静压用隔膜的邻接的两个端边上，分别以排列方向一致的方式设置有静压用测定元件。