[发明专利]多路并行激光超声检测系统

权利要求书

1.一种激光超声检测系统，包括检测激光光源、前分光结构、采集结构、双折变晶体、偏振片、探测器、二分之一波片、前偏振分光棱镜、声光调制器、后偏振分光棱镜、后分光结构、被检测件、激光超声激励源、扩束结构、双向可调光阑、聚焦镜；

在所述的技术方案中，所述的检测激光光源为一个激光光源，可以是连续的激光光源也可以是高重复频率的脉冲激光光源；

在所述的技术方案中，所述的前分光结构为由1至100个反射镜或者1至100个棱镜组成的光学结构，可以将入射的激光分成强度相同的1至100束，并平行出射；

在所述的技术方案中，所述的采集结构为由1至100个反射镜或者1至100个棱镜组成的光学结构，可以实现对1至100束的入射激光进行同时接收并反射到适当位置；

在所述的技术方案中，所述的双折变晶体可以是1至100个，用来分别对应每一束采集到的入射激光，也可以1个双折变晶体通过2路或多至光束数目的激光，实现干涉；

在所述的技术方案中，所述的偏振片可以是1至100个，用来分别对应每一束采集到的入射激光，也可以是1个偏振片通过2路或多至光束数目的激光，实现偏振滤光的功能；

在所述的技术方案中，所述的探测器可以是1至100个，用来分别对应每一束采集到的入射激光，也可以是1个探测器对应2路或多至光束数目的激光，实现采集干涉光场的功能；

在所述的技术方案中，所述的二分之一波片，用来对入射的激光进行调节，使得最大能量的偏振光透过前偏振分光棱镜；

在所述的技术方案中，所述的前偏振分光棱镜，用来对入射的激光进行调节，改变光的偏振方向与前偏振分光棱镜的滤光方向相同；

在所述的技术方案中，所述的声光调制器，用来对入射的激光进行调制，改变光的频率；

在所述的技术方案中，所述的后偏振分光棱镜，用来对入射的激光进行偏振分光，提高光的偏振度；

在所述的技术方案中，所述的后分光结构为由1至100个反射镜或者1至100个棱镜组成的光学结构，可以将调制后的激光分成强度相同的1至100束，并平行出射。

2.按照权利要求1所述的激光超声检测装置，其特征在于，所述的激光超声激励源为脉冲或者连续发射的激光器，用来产生激励超声的激光；

在所述的技术方案中，所述的扩束结构为1个或者多至10个透镜构成的光学透镜组，用来将激光光束扩束成适当的直径，并同时将激光光斑压缩成与双向可调光阑两个边长相近的椭圆型光斑；

在所述的技术方案中，所述的双向可调光阑是由两个方向宽窄可调的缝隙构成的光阑，用来将激光光束整形成矩形；

在所述的技术方案中，所述的聚焦镜是由两个方向宽窄可调的缝隙构成的光阑，用来将激励超声的激光光束汇聚到被检测件上，激励产生超声。

3.按照权利要求1所述的激光超声检测装置，其特征在于，所述的被检测件上面同时汇聚了分光光束数目的光斑，分别进行各个点的激光超声检测，检测时各个光斑间距相同，沿同一方向运动，呈梳状扫描检测面，同时采集被检测件上分光光束数目条线上的光斑；上述的多条扫描激光光束在到达扫描面的边缘时，同时向下反折扫描回来，构成一个矩形面，然后扫描光斑沿着激光超声激励源光斑长边的方向向外侧运动，使得第一束光可以继续沿着最后一束激光的下面开始第二次扫描，这样的过程往复下去，直至完成全部的检测面。

也可以上述的多条扫描激光光束在到达扫描面的边缘时，扫描光斑沿着激光超声激励源光斑长边的方向向外侧运动，使得第一束光可以继续沿着最后一束激光的下面开始第二次扫描，这样的过程往复下去，直至完成全部的检测面。

也可以上述的多条扫描激光光束在到达扫描面的边缘时，上述的多条扫描激光光束在到达扫描面的边缘时，同时反折扫描回来，再次反折扫描回来，一共进行任意多次，直至每一条分出的光束扫描检测完两个分出的光束之间的面积，然后扫描光斑沿着激光超声激励源光斑长边的方向向外侧运动，使得第一束光可以继续沿着最后一束激光的下面开始第二次扫描，这样的过程往复下去，直至完成全部的检测面。

4.按照权利要求1所述的激光超声检测装置，其特征在于，所述的激光超声激励源产生的激励光斑为矩形，并且矩形光斑的长边方向与多条扫描激光光束聚焦光斑的列方向平行；扫描时多条扫描激光光束在沿着矩形的短边方向同时远离或者靠近激光超声激励源产生的激励光斑。