[发明专利]连续扩散处理装置

权利要求书

1.一种连续扩散处理装置，其特征在于包括：

输送台，装载多张板状的被处理件；

筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；

输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；

加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；

多个隔壁构件，设置在所述加热炉内，并将从所述加热炉内的所述送入部到所述送出部之间在输送方向上划分成多个处理区；以及

给排气装置，向每个所述处理区分别提供气体，并在每个所述处理区分别排出气体。

2.根据权利要求1所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

所述加热装置包括设置在所述加热炉外部周围的加热器、与所述加热器一起覆盖所述加热炉的筒状的隔热材料，

所述连续扩散处理装置还包括控制装置，所述控制装置通过控制所述加热器，对每个所述处理区分别进行炉内的温度调整。

3.根据权利要求1或2所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述隔壁构件沿所述输送方向可移动地设置在所述加热炉内。

4.根据权利要求1或2所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述输送台在输送方向上的长度尺寸小于被所述隔壁构件划分的各处理区在输送方向上的长度尺寸。

5.根据权利要求1所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述加热装置包括设置在所述加热炉外部周围的加热器、与所述加热器一起覆盖所述加热炉的筒状的隔热材料，

所述隔热材料是沿所述输送方向被切断的分割结构。

6.根据权利要求1或2所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

所述给排气装置包括：供气装置，向用于进行扩散处理的处理区提供用于扩散处理的气体；排气装置，将该处理区的气体排出，

所述供气装置配置在所述加热炉的上部，

所述加热炉具有覆盖物，所述覆盖物从上面和左右两侧覆盖用于进行所述扩散处理的处理区中的所述输送台所通过的输送通道，并设置有多个贯通孔。

7.根据权利要求1或2所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

从所述加热炉内的所述送入部到所述送出部之间，被所述隔壁构件从所述送入部一侧起划分为升温处理区、均热处理区以及降温处理区，

所述连续扩散处理装置还包括将所述降温处理区的气体提供给所述升温处理区的旁通流路。