[发明专利]一种批量制备大纵横比三维微结构的方法及系统

权利要求书

1.一种批量制备大纵横比三维微结构的方法，其特征是采用电化学沉积的方法，引入了一种微电极，该微电极是将Pt-Ir丝直接插入到玻璃毛细管中制成的，且末端与毛细管端口持平，通过CCD监控调整得到阴极基底和阳极微电极之间的3～5um初始间隙，将多个微电极的一端并联然后连接步进电机控制微电极Z向移动，步进电机同时控制基底XY向移动，并通过CCD监控使得多个微电极和阴极基底之间的初始间隙保持一致，实现三维微结构的快速批量制备。

2.一种批量制备大纵横比三维微结构的系统，其特征在于包括计算机、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统、三维微结构批量制备核心单元、电源及控制电路；计算机分别与XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统相连接，三维微结构批量制备核心单元分别与电源及控制电路、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统相连接；三维微结构批量制备核心单元包括阳极微电极（1）、防震平台（2）、XY向步进平移台（3）、电解液池（4）、阴极基底（5）、硫酸铜和硫酸的混合溶液（6）、直流电源（7）、限流电阻（8）、滑动变阻器（9）、Z向步进电机（10）；在防震平台（2）上设有XY向步进平移台（3）、直流电源（7）、Z向步进电机（10），在XY向步进平移台（3）上设有电解液池（4），在电解液池（4）底部固定有阴极基底（5），在电解液池（4）内部充满硫酸铜和硫酸的混合溶液（6），在Z向步进电机（10）上固定有阳极微电极（1）。

3.根据权利要求２所述的一种批量制备大纵横比三维微结构的系统，其特征在于所述的阳极微电极（1）包括第一玻璃毛细管（11）、第一Pt-Ir丝（12）、第二玻璃毛细管（13）、第二Pt-Ir丝（14）、第三玻璃毛细管（15）、第三Pt-Ir丝（16）；第一玻璃毛细管（11）内插有第一Pt-Ir丝（12），第二玻璃毛细管（13）内插有第二Pt-Ir丝（14），第三玻璃毛细管（15）内插有第三Pt-Ir丝（16），第一Pt-Ir丝（12）、第二Pt-Ir丝（14）、第三Pt-Ir丝（16）的一端相连。