[发明专利]基板筒、基板处理装置、基板处理系统、基板处理方法、控制装置及显示元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及基板筒、基板处理装置、基板处理系统、基板处理方法、控制装置以及显示元件的制造方法。

本申请基于2009年11月5日提出的日本特愿2009-253975号以及日本特愿2009-253976号主张优先权，并将其内容援引至此。

背景技术

作为构成显示器装置等显示装置的显示元件，公知有例如有机电致发光(有机EL)元件。有机EL元件成为在基板上具有阳极以及阴极，并且具有夹在这些阳极与阴极之间的有机发光层的构成。有机EL元件形成为从阳极向有机发光层注入空穴，在有机发光层中使空穴与电子复合，通过该复合时的发光得到显示光。有机EL元件在基板上例如形成有与阳极以及阴极连接的电路等。

作为制作有机EL元件的方法之一，公知有例如被称作卷对卷(roll to roll)方式(以下简记为“卷方式”)的方法(例如参照专利文献1)。卷方式是一边放出卷在基板供给侧的辊上的1张片材状的基板并利用基板回收侧的辊卷取被放出的基板，一边传送基板，从基板被放出到被卷取的期间，在处理装置中依次在基板上形成构成有机EL元件的发光层、阳极、阴极、电路等的方法。

在专利文献1所记载的构成中，成为例如基板放出用的辊以及基板卷取用的辊可以相对处理装置拆卸的构成。拆卸下的辊例如可以被搬送到其他的处理装置，并安装于该其他的处理装置来使用。

专利文献1：国际公开第2006/100868号

但是，在如上述那样仅可以对处理装置装卸的构成中，难以判别例如在辊上卷取了什么的基板。另外，例如难以判别对卷在辊上的基板进行到哪个阶段的处理。因此，每当安装辊时便需要采用某些方法来确认基板的作业，由此花费工夫。

发明内容

本发明的目的在于，提供可以对基板进行有效的处理的基板筒(cartridge)、基板处理装置、基板处理系统、基板处理方法、控制装置以及显示元件的制造方法。

本发明的第1方式提供一种基板筒，该基板筒具备：收纳基板的筒主体；和信息保持部，其保持至少包含与收纳在筒主体中的基板的规格值有关的规格信息的信息。

本发明的第2方式提供一种基板筒，该基板筒具备：收纳基板的筒主体；和信息保持部，其保持至少包含工艺信息的信息，该工艺信息是基于与收纳在筒主体中的基板的规格值有关的规格信息的信息。

本发明的第3方式提供一种基板处理装置，该基板处理装置具备：处理基板的基板处理部、进行向基板处理部搬入基板的基板搬入部、和进行从基板处理部搬出基板的基板搬出部，使用本发明的基板筒作为基板搬入部以及基板搬出部中的至少一方。

本发明的第4方式提供一种基板处理系统，该基板处理系统具备：处理基板的基板处理装置；与基板处理装置连接的本发明的基板筒；和主控制装置，其从基板筒的信息保持部接受信息，并且基于该信息控制基板处理装置。

本发明的第5方式提供一种基板处理方法，该基板处理方法是一边供给基板一边处理该基板，并回收处理后的基板的基板处理方法，该基板处理方法使用本发明的基板筒来进行基板的供给以及基板的回收中的任意一方，利用经由基板筒而得到的信息来处理基板。

本发明的第6方式提供一种控制装置，该控制装置具备：处理基板的基板处理装置；以及对与该基板处理装置连接的本发明的基板筒进行控制的主控制部。

本发明的第7方式提供一种显示元件的制造方法，该制造方法包括：在基板处理部中处理基板的工序、和使用本发明的基板筒向基板处理部供给基板或者从基板处理部回收基板的工序。

本发明的第8方式提供一种基板筒，该基板筒具备：收纳基板的筒主体；和信息保持部，其保持对筒主体进行识别的识别信息以及收纳在筒主体中的基板的处理信息中的至少一方的信息。

本发明的第9方式提供一种基板处理装置，该基板处理装置具备：处理基板的基板处理部、进行向该基板处理部搬入基板的基板搬入部、和进行从基板处理部搬出基板的基板搬出部，并使用本发明的基板筒作为基板搬入部以及基板搬出部中的至少一方。

本发明的第10方式提供一种基板处理系统，该基板处理系统具备：处理基板的基板处理装置；与该基板处理装置连接的本发明的基板筒；以及主控制装置，其从该基板筒的信息保持部接受信息，并且基于该信息控制基板处理装置。

本发明的第11方式提供一种基板处理方法，该基板处理方法是一边供给基板一边处理该基板，并回收处理后的基板的基板处理方法，该基板处理方法利用本发明的基板筒来进行基板的供给以及基板的回收中的至少一方，使用经由基板筒而得到的信息来处理基板。