[发明专利]二氧化硅粉、二氧化硅容器及该粉或容器的制造方法

权利要求书

1.一种二氧化硅粉，是二氧化硅容器制造用的二氧化硅粉，其特征在于，

粒径为10～1000μm，

含有合计浓度为50～5000重量ppm的Ca、Sr、Ba，且

在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×10¹⁶～3×10¹⁹分子/g。

2.如权利要求1所述的二氧化硅粉，其中，前述二氧化硅粉，含有浓度为10～100重量ppm的Al。

3.如权利要求1或2所述的二氧化硅粉，其中，

前述含有的Ba的浓度是100～1000重量ppm，且在前述真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为5×10¹⁶～5×10¹⁸分子/g，

前述二氧化硅粉所含有的Li、Na、K的各个浓度在60重量ppb以下。

4.一种二氧化硅粉的制造方法，是二氧化硅容器制造用的二氧化硅粉的制造方法，其特征在于，包含：

制作工序，其制作由二氧化硅所构成的粉末，该粉末的粒径为10～1000μm，并含有Ca、Sr、Ba的至少一种；

投入工序，其将前述粉末投入具有气密性的加热炉内；

减压排气工序，其将前述加热炉内减压排气至10³Pa以下；

热处理工序，其将含有10～100体积％的氢气的气体，导入前述加热炉内，将含氢气体环境的压力设为1～100kgf/cm²，而温度设为200～800℃；以及

冷却工序，其将前述加热炉内的含氢气体环境的压力持续保持在1kgf/cm²以上，并将前述粉末冷却至50℃以下。

5.如权利要求4所述的二氧化硅粉的制造方法，其中，在前述粉末中，含有合计浓度为50～5000重量ppm的Ca、Sr、Ba。

6.如权利要求4或5所述的二氧化硅粉的制造方法，其中，在前述粉末中，分别含有浓度为100～1000重量ppm的Ba、及浓度为10～100重量ppm的Al。

7.一种二氧化硅容器，其特征在于，具备：基体，其具有旋转对称性，以二氧化硅作为主成分，且至少在外周部分含有气泡；及内层，其被形成在该基体的内表面上，并由透明二氧化硅玻璃所构成；

并且，前述基体的Li、Na、K的合计浓度为50重量ppm以下；

前述内层，其含有合计浓度为50～5000重量ppm的Ca、Sr、Ba，且切出厚度是10mm的试料时的光波长600nm的光透过率是91.8～93.2％。

8.如权利要求7所述的二氧化硅容器，其中，前述内层含有浓度为10～100重量ppm的Al。

9.如权利要求7或8所述的二氧化硅容器，其中，

前述内层中的Li、Na、K的各个浓度在60重量ppb以下，Ba的浓度是100～1000重量ppm，且由前述内层切出的试料在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量未满1×10¹⁶分子/g。

10.一种二氧化硅容器的制造方法，其特征在于，

用以制造二氧化硅容器，该二氧化硅容器具备：基体，其具有旋转对称性，以二氧化硅作为主成分，且至少在外周部分含有气泡；及内层，其被形成在该基体的内表面上，并由透明二氧化硅玻璃所构成，

其中，所述二氧化硅容器的制造方法，准备二氧化硅粉来作为用以形成前述内层的原料粉，并使用该内层形成用原料粉即二氧化硅粉，在前述基体的内表面上形成前述内层，该二氧化硅粉，其粒径为10～1000μm，含有合计浓度为50～5000重量ppm的Ca、Sr、Ba，且在真空下加热至1000℃时的氢分子的放出量为3×10¹⁶～3×10¹⁹分子/g。