[发明专利]真空泵以及真空泵中使用的部件

权利要求书

1.一种真空泵，具备：吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，上述旋转体延伸到上述气体排出通路的上述旋转体的径向内周侧，其特征在于，

对于上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部，从上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察形成上述气体排出通路的气体排出通路形成部件时，没有不可视部分。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述气体排出通路形成部件为上述定子。

3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备覆盖上述旋转体以及/或者上述定子的外周侧的壳体，

上述气体排出通路形成部件为上述壳体。

4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备支撑上述定子的箱体或者基座部件，

上述气体排出通路形成部件为上述箱体或者上述基座部件。

5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备形成上述排气口，并且向上述真空泵内部延伸的排气口部件，

上述气体排出通路形成部件为上述排气口部件。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的真空泵，其特征在于，上述开口缘部的拐角部为减小应力集中的拐角倒角形状。

7.一种真空泵，具备：吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，上述旋转体延伸到上述气体排出通路的上述旋转体的径向内周侧，其特征在于，

上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部的拐角部为减小应力集中的拐角倒角形状。

8.如权利要求1至7中任意一项所述的真空泵，其特征在于，具备连接控制上述旋转体旋转的控制器的连接器，

在上述箱体或者上述基座部件上，设有：与上述旋转体的旋转中心轴线大致同轴状的大致同轴状孔，连接上述连接器与上述马达的导线能穿入其中的导线穿入孔，以及连通上述大致同轴状孔与上述导线穿入孔的槽。

9.一种真空泵，具备：吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，支撑上述定子的箱体或者基座部件，以及连接控制上述旋转体旋转的控制器的连接器，其特征在于，

在上述箱体或者上述基座部件上，设有：与上述旋转体的旋转中心轴线大致同轴状的大致同轴状孔，连接上述连接器与上述马达的导线能穿入其中的导线穿入孔，以及连通上述大致同轴状孔与上述导线穿入孔的槽。

10.如权利要求8或9所述的真空泵，其特征在于，上述大致同轴状孔和上述导线穿入孔和上述槽的缘部中的至少一个为转角倒角形状，以减少上述导线因与上述缘部接触而受到的损伤。

11.如权利要求8至10中任意一项所述的真空泵，其特征在于，从上述旋转体的直径方向来看，上述槽的外周侧端位于比上述导线穿入孔的内周侧端还要外周侧。

12.一种在真空泵中使用的部件，该真空泵具备：吸气口，马达，被上述马达驱动而旋转的旋转体，与上述旋转体对置地配置的定子，以及用于排出经过上述吸气口吸引的气体的排气口，上述部件的特征在于，

在上述气体的流路上，形成有连通上述旋转体的下游的空间与上述排气口作用的气体排出通路，对于上述气体排出通路的上述下游的空间侧的开口缘部，从上述部件的上方侧和斜上方侧中的至少一侧、或者从上述部件的下方侧和斜下方侧中的至少一侧去观察上述部件时，没有不可视部分。